公开(公告)号：CN110426917A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201910342786.8

申请日：2019-04-26

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 井上浩辅

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/11

Abstract: 感光性层叠体和其制造方法。[课题]本发明的目的在于提供不易受到异物影响的感光性层叠体。[解决方案]感光性层叠体的制造方法包括：第1层叠体形成工序，在基板上层叠感光性树脂层叠体，形成基板与感光性树脂层叠体的层叠体即第1层叠体，感光性树脂层叠体具备支撑薄膜(1)和形成于前述支撑薄膜(1)上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层(6)；曝光工序，从前述第1层叠体剥离支撑薄膜(1)，将剥离了支撑薄膜(1)的感光性树脂组合物层(6)进行曝光，形成具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层；和，第2层叠体形成工序，在前述具有曝光部和未曝光部的感光性树脂组合物层(6)上层叠覆盖薄膜(2)，形成第2层叠体。

公开(公告)号：CN111316164B

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN201880072368.5

申请日：2018-11-02

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 井上浩辅 ,  国松真一 ,  小谷雄三

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/09 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和 的水分量为0.1质量％以上。含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，(56)对比文件Zhang H. et al.“A covalently attachedfilm ba...apped Fe3O4 nanoparticles”.《THIN SOLID FILMS》.2003,第429卷(第1期),Lin DJ. et al“.Preparation of ananosilica-modified negative-typeacrylate photoresist”《.JOURNAL OF APPLIEDPOLYMER SCIENCE》.2008,第107卷(第2期),乔素琴等《.液晶用三醋酸纤维素膜与感光用三醋酸纤维素片基差异化分析研究》《. 信息记录材料》.2014,第1卷(第15期),曾永彬等《.基于光致抗蚀干膜的掩膜制备及其应用研究》《.电加工与模具》.2014,(第5期),杨帆《.PCB绝缘层光分解树脂的制备及应用性能研究》《.中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2016,(第5期),

公开(公告)号：CN111316164A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201880072368.5

申请日：2018-11-02

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 井上浩辅 ,  国松真一 ,  小谷雄三

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/09 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，且所述支承薄膜可从所述感光性树脂组合物层剥离，将所述感光性树脂组合物层的总质量设为100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含的水分量为0.1质量％以上。