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公开(公告)号：CN111527450B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201980006875.3
申请日：2019-01-15
申请人： 旭化成株式会社
发明人： 加持义贵
摘要： 提供一种层叠体，其在基膜上具备感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物可以兼顾在显影液中的溶解性即显影性和对基板、特别是铜基板的密合性。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具备支撑薄膜、和形成在支撑薄膜上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；及(D)铁原子，以感光性树脂组合物层为基准，感光性树脂组合物层中的铁原子的含量为0.01ppm以上且10ppm以下。
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公开(公告)号：CN115398337A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202180025576.1
申请日：2021-04-02
申请人： 旭化成株式会社
发明人： 加持义贵
摘要： 提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，JIS B0601‑2001中规定的、支承膜(A)的与感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度RzA1(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度RzA2(nm)、保护膜(C)的与感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度RzC1(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度RzC2(nm)满足以下的(1)～(3)：(1)1
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公开(公告)号：CN114174922A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202080054534.6
申请日：2020-08-06
申请人： 旭化成株式会社
摘要： 本发明的目的之一在于，提供一种侧蚀量降低、铜线宽的均匀性优异、曝光时促进染料的显色、曝光部的可视性优异的感光性树脂组合物。根据本发明，提供一种感光性树脂组合物，其包含：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物、(C)光聚合引发剂、(D)染料以及(E)下述通式所示的化合物{式中，R1和R2均不具有氨基，独立地选自由氢原子或碳数1～20的有机基团组成的组，其中，R1和R2中的至少一者具有pKa5以下的酸性基团。}。
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公开(公告)号：CN118159908A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280071536.5
申请日：2022-10-07
申请人： 旭化成株式会社
发明人： 加持义贵
摘要： 本发明提供一种显影装置停止后的显影液消泡良好的感光性元件、及抗蚀图案的形成方法。本发明的感光性元件具备支撑薄膜、及形成于支撑薄膜上的含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层；感光性树脂组合物含有：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物、(C)敏化剂、以及(D)阻聚剂；(A)碱溶性高分子含有：单体成分含有芳香族烃基且重均分子量Mw为20,000以下的碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物为具有下述通式(B1)所表示的结构的化合物。#imgabs0#(式中，R1及R2各自独立地表示氢或碳，A为碳数1～2的二价烃基，P为碳数3的二价烃基；(AO)及(PO)的排列可为无规或嵌段；m1+m2为0～10的整数，n为1～30的整数)。
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公开(公告)号：CN118778362A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410867812.X
申请日：2019-06-11
申请人： 旭化成株式会社
摘要： 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。本发明还涉及抗蚀图案的形成方法。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。
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公开(公告)号：CN112352197A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980041589.0
申请日：2019-06-11
申请人： 旭化成株式会社
摘要： 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或者，上述碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或者，上述感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，所述碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。
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公开(公告)号：CN111527450A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201980006875.3
申请日：2019-01-15
申请人： 旭化成株式会社
发明人： 加持义贵
摘要： 提供一种层叠体，其在基膜上具备感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物可以兼顾在显影液中的溶解性即显影性和对基板、特别是铜基板的密合性。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具备支撑薄膜、和形成在支撑薄膜上的包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和双键的化合物；(C)光聚合引发剂；及(D)铁原子，以感光性树脂组合物层为基准，感光性树脂组合物层中的铁原子的含量为0.01ppm以上且10ppm以下。
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