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公开(公告)号：CN107474799A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710791020.9
申请日：2011-01-20
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1463 , B24B37/044 , C09G1/02 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及的悬浮液，含有磨粒和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，对于波长500nm的光有50％/cm以上的光透过率。本发明涉及的研磨液，含有磨粒、添加剂和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，对于波长500nm的光有50％/cm以上的光透过率。
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公开(公告)号：CN103222036B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201180055798.4
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 岩野友洋
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: H01L21/30625 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463 , C09K13/12 , H01L21/31053
Abstract: 本实施方式涉及的研磨液，含有磨粒、添加剂和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，且，所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液，在以1.59×105G的离心加速度离心分离50分钟时，所形成的液相中的不挥发成分的含量在500ppm以上的液相的物质。
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公开(公告)号：CN105518833A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480049482.8
申请日：2014-07-01
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , C09K3/14
Abstract: 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。
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公开(公告)号：CN104137232A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380010364.1
申请日：2013-02-14
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B37/00 , C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1436 , C09K3/1463 , H01L21/30625 , H01L21/31053 , H01L21/76224 , B24B37/00
Abstract: 本发明涉及的研磨剂含有：水、包含四价金属元素的氢氧化物的磨粒、聚亚烷基二醇和阳离子性聚合物，其中，阳离子性聚合物选自由烯丙基胺聚合物、二烯丙基胺聚合物、乙烯基胺聚合物和乙烯亚胺聚合物构成的组群中的至少一种。
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公开(公告)号：CN103500706A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201310335599.X
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/304 , C09K3/14 , B24B37/00
CPC classification number: C09K13/12 , B24B37/044 , C09G1/02 , C09K3/1463 , H01L21/30625 , H01L21/31053
Abstract: 本实施方式涉及的研磨液含有磨粒、添加剂和水，磨粒满足下述条件（a）或（b）中的至少任意一个。（a）在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长400nm的光的吸光度在1.50以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。（b）在磨粒的含量被调节至0.0065质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长290nm的光的吸光度在1.000以上的同时，在磨粒的含量被调节至1.0质量%的水分散液中，使该水分散液对于波长500nm的光的透光率在50%/cm以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103450847A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310316638.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN103374330A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310317864.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN111819263A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201880090885.5
申请日：2018-09-25
Applicant: 日立化成株式会社
Inventor： 岩野友洋
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 一种研磨液，其含有磨粒、羟基酸、多元醇和液状介质，磨粒的ζ电位为正，羟基酸具有1个羧基和1～3个羟基。
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