公开(公告)号：CN105518833A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201480049482.8

申请日：2014-07-01

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 南久贵 ,  岩野友洋 ,  荒川敬太 ,  日高敬浩

IPC: H01L21/304 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。

公开(公告)号：CN104137232A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380010364.1

申请日：2013-02-14

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 阿久津利明 ,  南久贵 ,  岩野友洋 ,  藤崎耕司

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/76224 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明涉及的研磨剂含有：水、包含四价金属元素的氢氧化物的磨粒、聚亚烷基二醇和阳离子性聚合物，其中，阳离子性聚合物选自由烯丙基胺聚合物、二烯丙基胺聚合物、乙烯基胺聚合物和乙烯亚胺聚合物构成的组群中的至少一种。

公开(公告)号：CN103450847A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310316638.1

申请日：2011-11-21

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  秋元启孝

IPC: C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  C09K13/00 ,  H01L21/31053

Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。

公开(公告)号：CN103374330A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201310317864.1

申请日：2011-11-21

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  秋元启孝

IPC: C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  C09K13/00 ,  H01L21/31053

Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。

公开(公告)号：CN111378416A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN202010349733.1

申请日：2014-07-01

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 南久贵 ,  岩野友洋 ,  荒川敬太 ,  日高敬浩

IPC: C09K3/14

Abstract: 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。

公开(公告)号：CN104334675A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380026857.4

申请日：2013-03-26

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  阿久津利明 ,  藤崎耕司

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/04 ,  H01L21/3105

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/304 ,  H01L21/31053

Abstract: 一种含有磨粒、添加剂和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将所述磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得不挥发成分含量为300ppm以上的液相。

公开(公告)号：CN104321852A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201380026398.X

申请日：2013-03-26

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 岩野友洋 ,  南久贵 ,  阿久津利明 ,  藤崎耕司

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C01B33/113 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/31053

Abstract: 一种含有磨粒和水的悬浮液，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，并且，在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，所述磨粒使该水分散液对波长400nm的光的吸光度为1.00以上、小于1.50，并且，在以离心加速度1.59×105G对将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液进行50分钟离心分离时获得的液相中，所述磨粒使该液相对波长400nm的光的吸光度为0.035以上。

公开(公告)号：CN104582899B

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201380045013.4

申请日：2013-07-30

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 阿久津利明 ,  南久贵 ,  岩野友洋 ,  藤崎耕司

IPC: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的一个实施方式涉及的研磨剂含有：液态介质、含4价金属元素的氢氧化物的磨粒、具有芳香环及聚氧化烯链的高分子化合物、以及阳离子性聚合物，其中，高分子化合物的重均分子量在1000以上。

公开(公告)号：CN107949615A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680051930.7

申请日：2016-06-13

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 阿久津利明 ,  南久贵 ,  岩野友洋 ,  山下哲朗 ,  青木雅子 ,  深泽正人

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本申请的研磨液具有液态介质、磨粒和聚合物，所述聚合物具有官能团直接键合的第1分子链和从该第1分子链分支而成的第2分子链，所述官能团是选自由羧基、羧酸盐基团、羟基、磺基以及磺酸盐基团所组成的群中的至少一种。

公开(公告)号：CN107617968A

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201710996717.X

申请日：2013-02-14

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 阿久津利明 ,  南久贵 ,  岩野友洋 ,  藤崎耕司

IPC: B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/762

CPC classification number: C09G1/02 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/30625 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/76224

Abstract: 本发明涉及的研磨剂含有：水、包含四价金属元素的氢氧化物的磨粒、聚亚烷基二醇和阳离子性聚合物，其中，阳离子性聚合物选自由烯丙基胺聚合物、二烯丙基胺聚合物、乙烯基胺聚合物和乙烯亚胺聚合物构成的组群中的至少一种。