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公开(公告)号：CN102666014B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201180005050.3
申请日：2011-01-20
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: B24B37/04 , C09K3/14 , H01L21/3105
CPC classification number: C09K3/1463 , B24B37/044 , C09G1/02 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及的悬浮液，含有磨粒和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液中，对于波长500nm的光有50%/cm以上的光透过率。本发明涉及的研磨液，含有磨粒、添加剂和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量%的水分散液中，对于波长500nm的光有50%/cm以上的光透过率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103374330B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310317864.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN103221503A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201180055799.9
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN107474799A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710791020.9
申请日：2011-01-20
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1463 , B24B37/044 , C09G1/02 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及的悬浮液，含有磨粒和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，对于波长500nm的光有50％/cm以上的光透过率。本发明涉及的研磨液，含有磨粒、添加剂和水，磨粒含有4价氢氧化铈粒子，且在将该磨粒的含量调节至1.0质量％的水分散液中，对于波长500nm的光有50％/cm以上的光透过率。
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公开(公告)号：CN103450847A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310316638.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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公开(公告)号：CN103374330A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310317864.1
申请日：2011-11-21
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , C09K13/00 , H01L21/31053
Abstract: 根据本发明涉及的磨粒的制造方法，将所述4价金属元素的盐的水溶液与碱液，在规定的参数在5.00以上的条件下混合，得到含有4价金属元素的氢氧化物的磨粒。
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