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公开(公告)号：CN107949615A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201680051930.7
申请日：2016-06-13
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09K3/14 , B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本申请的研磨液具有液态介质、磨粒和聚合物，所述聚合物具有官能团直接键合的第1分子链和从该第1分子链分支而成的第2分子链，所述官能团是选自由羧基、羧酸盐基团、羟基、磺基以及磺酸盐基团所组成的群中的至少一种。
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