公开(公告)号：CN105518833A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201480049482.8

申请日：2014-07-01

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 南久贵 ,  岩野友洋 ,  荒川敬太 ,  日高敬浩

IPC: H01L21/304 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。

公开(公告)号：CN111378416A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN202010349733.1

申请日：2014-07-01

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 南久贵 ,  岩野友洋 ,  荒川敬太 ,  日高敬浩

IPC: C09K3/14

Abstract: 本发明提供一种研磨液，所述研磨液含有：磨粒、具有芳香族杂环的化合物、添加剂(其中，不包括上述具有芳香族杂环的化合物)和水，所述磨粒含有4价金属元素的氢氧化物，所述芳香族杂环具有未与氢原子键合的环内氮原子，使用Merz-Kollman法得到的所述环内氮原子的电荷在-0.45以下。