检查方法和检查系统
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112740384B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN201980061600.X

    申请日:2019-08-27

    Inventor: 新井治 神谷浩

    Abstract: 本发明所涉及的被检查体的检查方法包括以下步骤:步骤(S20),将电连接件与半导体元件的电信号端子进行电连接,并且将光连接件与半导体元件的光信号端子进行光学连接;步骤(S30),一边调整被检查体的位置和倾斜的条件,一边测定形成于被检查体的监视用元件响应于被输入的测试输入信号而输出的测试光输出信号,提取使测试光输出信号的光强度为规定的判定值以上的条件,来作为检查条件;以及步骤(S40),在检查条件下检查半导体元件。

    电连接装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104280577B

    公开(公告)日:2017-05-03

    申请号:CN201410320021.1

    申请日:2014-07-07

    CPC classification number: G01R31/2891 G01R1/07307 G01R31/2887

    Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括探针卡(19)和弹性热传导构件(18h),该探针卡具有形成有用于与电路检验器(11)电连接的布线路(18e)的探针基板(18)及能分别与吸盘顶部(21)上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)中的各连接焊盘接触的多个探针(18a),该探针卡能相对于吸盘顶部移动,该弹性热传导构件配置在吸盘顶部的工作面与探针基板之间或工作面上的半导体晶圆与探针基板之间。弹性热传导构件能在多个探针与所对应的多个连接焊盘(28a)非抵接状态下与吸盘顶部的工作面和探针基板、或工作面上的半导体晶圆和探针基板抵接,且能以不妨碍多个探针分别与所对应的连接焊盘抵接方式弹性变形。

    电连接装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104280573A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201410319974.6

    申请日:2014-07-07

    Abstract: 本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括布线基板(14)、探针卡(19)以及电连接部(16),该布线基板配置在吸盘顶部(21)的上方,形成有用于与电路检验器(11)连接的布线路(14a);该探针卡具有:探针基板(18),其与布线基板隔有间隔,以一面与布线基板相对的方式配置,以与布线路(14a)相对应的方式形成有布线路(18e);以及多个探针(18a),其以与布线路(18e)连接的方式设于探针基板的另一面,能够分别与吸盘顶部上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)接触;该电连接部使布线路(14a)与布线路(18e)电连接,并且利用降低布线基板与探针基板之间的热传导的低热传导支承构件(16f、16g)进行连接。

    控制服务器和控制系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108010338A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711026559.1

    申请日:2017-10-27

    Abstract: 提供一种能够进一步防止交通事故的控制服务器和控制系统。一种控制服务器(40),对设置于道路(R)的多个信号机(10)进行控制,控制服务器(40)具备:压力信息获取部(431),其获取由设置于道路(R)中的与多个信号机(10)分别对应的停止位置的压力传感器(20)输出的、包含从在道路R通行的车辆(M)受到的压力值的压力信息;急刹车信息获取部(432),其基于压力信息来获取表示在道路(R)通行的车辆(M)进行的急刹车动作的急刹车信息;以及信号机控制部(433),其基于急刹车信息来生成对多个信号机(10)进行控制的控制信号。

    控制服务器和控制系统
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108010338B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201711026559.1

    申请日:2017-10-27

    Abstract: 提供一种能够进一步防止交通事故的控制服务器和控制系统。一种控制服务器(40),对设置于道路(R)的多个信号机(10)进行控制,控制服务器(40)具备:压力信息获取部(431),其获取由设置于道路(R)中的与多个信号机(10)分别对应的停止位置的压力传感器(20)输出的、包含从在道路R通行的车辆(M)受到的压力值的压力信息;急刹车信息获取部(432),其基于压力信息来获取表示在道路(R)通行的车辆(M)进行的急刹车动作的急刹车信息;以及信号机控制部(433),其基于急刹车信息来生成对多个信号机(10)进行控制的控制信号。

    检查方法和检查系统
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112740384A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN201980061600.X

    申请日:2019-08-27

    Inventor: 新井治 神谷浩

    Abstract: 本发明所涉及的被检查体的检查方法包括以下步骤:步骤(S20),将电连接件与半导体元件的电信号端子进行电连接,并且将光连接件与半导体元件的光信号端子进行光学连接;步骤(S30),一边调整被检查体的位置和倾斜的条件,一边测定形成于被检查体的监视用元件响应于被输入的测试输入信号而输出的测试光输出信号,提取使测试光输出信号的光强度为规定的判定值以上的条件,来作为检查条件;以及步骤(S40),在检查条件下检查半导体元件。

    探针卡及其制造方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104237578B

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201410262345.4

    申请日:2014-06-12

    Abstract: 本发明提供一种与两个测定温度相对应的探针卡及其制造方法。为了对配置在安装有热源的作业台上的被检查体进行电气试验而探针卡将被检查体的电极和测试器连接。探针卡包括:形成有与测试器相连接的导电路径的电路基板;形成有与该电路基板的上述导电路径相对应的导电路径并设有与导电路径相连接的探针的探针基板;热膨胀调整构件,其与探针基板相结合,并为了限制探针基板的热伸缩而具有与探针基板的线膨胀系数不同的线膨胀系数,热膨胀调整构件和探针基板构成复合体。如下进行设定:若在被检查体处于两个测定温度时复合体处于相对应的到达温度,则使各测定温度与相对应的到达温度之间的温度差的情况下的被检查体和复合体的伸缩变化量大致相等。

    探针卡及其制造方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104237578A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410262345.4

    申请日:2014-06-12

    Abstract: 本发明提供一种与两个测定温度相对应的探针卡及其制造方法。为了对配置在安装有热源的作业台上的被检查体进行电气试验而探针卡将被检查体的电极和测试器连接。探针卡包括:形成有与测试器相连接的导电路径的电路基板;形成有与该电路基板的上述导电路径相对应的导电路径并设有与导电路径相连接的探针的探针基板;热膨胀调整构件,其与探针基板相结合,并为了限制探针基板的热伸缩而具有与探针基板的线膨胀系数不同的线膨胀系数,热膨胀调整构件和探针基板构成复合体。如下进行设定:若在被检查体处于两个测定温度时复合体处于相对应的到达温度,则使各测定温度与相对应的到达温度之间的温度差的情况下的被检查体和复合体的伸缩变化量大致相等。

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