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公开(公告)号：CN101381232B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200810108925.2
申请日：2008-06-06
Applicant: 揖斐电株式会社
Abstract: 本发明提供了一种石墨材料和石墨材料的制造方法，所述石墨材料包含含有多个气孔的石墨，其中，所述石墨和所述多个气孔形成微细结构。当所述微细结构的截面用扫描电子显微镜观察时，所述截面上出现的气孔的个数为每6000μm2 250个以上，所述截面上出现的气孔的平均面积为5μm2以下，所述截面上出现的气孔的平均长宽比为0.55以下。
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公开(公告)号：CN107117802B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201710099131.3
申请日：2017-02-23
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C03B23/035
Abstract: 本发明提供一种玻璃成型模具和曲面玻璃的制造方法，其能够高效地进行抽真空，并且可得到强吸引力，能够防止玻璃表面的缺陷。一种玻璃成型模具，其特征在于，其由石墨构成，由位于上表面并构成玻璃板的载置部的第1区域、和除上述第1区域外的第2区域构成外表面，上述第2区域具有从玻璃成型模具内部延伸的气体排出口，同时具有不透气性覆膜。
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公开(公告)号：CN102234793A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110100396.3
申请日：2011-04-20
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C23C16/458 , C30B25/12
CPC classification number: C04B41/009 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B41/5057 , C04B41/5059 , C04B41/5062 , C04B41/5064 , C04B41/87 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/363 , C04B2237/64 , C04B2237/72 , C04B2237/86 , C23C14/505 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4582 , C23C16/4583 , C23C16/4584 , C23C16/4588 , C30B25/12 , C30B35/00 , Y10T156/1039 , C04B41/4531 , C04B41/4572 , C04B35/52
Abstract: 本发明涉及碳组件及制造该碳组件的方法，所述碳组件内部具有孔道且外表面被覆有陶瓷涂层。所述碳组件包括接合在一起的两个碳平板部件。所述孔道由形成在至少一个所述碳平板部件的配合表面上的凹槽和另一所述碳平板部件的与所述凹槽相对向的配合部分限定。包含所述凹槽表面的所述孔道的内表面全部被覆有陶瓷涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101381232A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810108925.2
申请日：2008-06-06
Applicant: 揖斐电株式会社
Abstract: 本发明提供了一种石墨材料和石墨材料的制造方法，所述石墨材料包含含有多个气孔的石墨，其中，所述石墨和所述多个气孔形成微细结构。当所述微细结构的截面用扫描电子显微镜观察时，所述截面上出现的气孔的个数为每6000μm2250个以上，所述截面上出现的气孔的平均面积为5μm2以下，所述截面上出现的气孔的平均长宽比为0.55以下。
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公开(公告)号：CN105264653B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201480032124.6
申请日：2014-05-14
Applicant: 揖斐电株式会社
Inventor： 伊藤敏树
IPC: H01L21/683 , H01L21/205
CPC classification number: C30B25/12 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4584 , C23C16/46 , C30B25/10 , H01L21/67103 , H01L21/68757 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 提供晶片载体和使用该晶片载体的外延生长装置，能够不容易从与主轴结合的结合部即结合孔产生颗粒，并且即使产生颗粒也不容易扩散且能够容易地去除。晶片载体具有：上表面，其具有用于保持晶片的一个以上的腔室；下表面，其在中心具有结合孔，该结合孔用于以能够取下的方式插入旋转主轴的上端；以及外周部，其连接该上表面和该下表面，其中，所述结合孔由从上表面侧朝向下表面侧扩大的锥状的壁面构成，具有贯通孔。
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公开(公告)号：CN107117802A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710099131.3
申请日：2017-02-23
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C03B23/035
Abstract: 本发明提供一种玻璃成型模具和曲面玻璃的制造方法，其能够高效地进行抽真空，并且可得到强吸引力，能够防止玻璃表面的缺陷。一种玻璃成型模具，其特征在于，其由石墨构成，由位于上表面并构成玻璃板的载置部的第1区域、和除上述第1区域外的第2区域构成外表面，上述第2区域具有从玻璃成型模具内部延伸的气体排出口，同时具有不透气性覆膜。
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公开(公告)号：CN105264653A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480032124.6
申请日：2014-05-14
Applicant: 揖斐电株式会社
Inventor： 伊藤敏树
IPC: H01L21/683 , H01L21/205
CPC classification number: C30B25/12 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4584 , C23C16/46 , C30B25/10 , H01L21/67103 , H01L21/68757 , H01L21/68764 , H01L21/68771
Abstract: 提供晶片载体和使用该晶片载体的外延生长装置，能够不容易从与主轴结合的结合部即结合孔产生颗粒，并且即使产生颗粒也不容易扩散且能够容易地去除。晶片载体具有：上表面，其具有用于保持晶片的一个以上的腔室；下表面，其在中心具有结合孔，该结合孔用于以能够取下的方式插入旋转主轴的上端；以及外周部，其连接该上表面和该下表面，其中，所述结合孔由从上表面侧朝向下表面侧扩大的锥状的壁面构成，具有贯通孔。
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公开(公告)号：CN102234793B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110100396.3
申请日：2011-04-20
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C23C16/458 , C30B25/12
CPC classification number: C04B41/009 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B41/5057 , C04B41/5059 , C04B41/5062 , C04B41/5064 , C04B41/87 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/363 , C04B2237/64 , C04B2237/72 , C04B2237/86 , C23C14/505 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4582 , C23C16/4583 , C23C16/4584 , C23C16/4588 , C30B25/12 , C30B35/00 , Y10T156/1039 , C04B41/4531 , C04B41/4572 , C04B35/52
Abstract: 本发明涉及碳组件及制造该碳组件的方法，所述碳组件内部具有孔道且外表面被覆有陶瓷涂层。所述碳组件包括接合在一起的两个碳平板部件。所述孔道由形成在至少一个所述碳平板部件的配合表面上的凹槽和另一所述碳平板部件的与所述凹槽相对向的配合部分限定。包含所述凹槽表面的所述孔道的内表面全部被覆有陶瓷涂层。
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