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公开(公告)号：CN102234793B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110100396.3
申请日：2011-04-20
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C23C16/458 , C30B25/12
CPC classification number: C04B41/009 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B41/5057 , C04B41/5059 , C04B41/5062 , C04B41/5064 , C04B41/87 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/363 , C04B2237/64 , C04B2237/72 , C04B2237/86 , C23C14/505 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4582 , C23C16/4583 , C23C16/4584 , C23C16/4588 , C30B25/12 , C30B35/00 , Y10T156/1039 , C04B41/4531 , C04B41/4572 , C04B35/52
Abstract: 本发明涉及碳组件及制造该碳组件的方法，所述碳组件内部具有孔道且外表面被覆有陶瓷涂层。所述碳组件包括接合在一起的两个碳平板部件。所述孔道由形成在至少一个所述碳平板部件的配合表面上的凹槽和另一所述碳平板部件的与所述凹槽相对向的配合部分限定。包含所述凹槽表面的所述孔道的内表面全部被覆有陶瓷涂层。
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公开(公告)号：CN102234793A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110100396.3
申请日：2011-04-20
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: C23C16/458 , C30B25/12
CPC classification number: C04B41/009 , C04B37/005 , C04B37/008 , C04B41/5057 , C04B41/5059 , C04B41/5062 , C04B41/5064 , C04B41/87 , C04B2235/72 , C04B2237/08 , C04B2237/083 , C04B2237/086 , C04B2237/363 , C04B2237/64 , C04B2237/72 , C04B2237/86 , C23C14/505 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4582 , C23C16/4583 , C23C16/4584 , C23C16/4588 , C30B25/12 , C30B35/00 , Y10T156/1039 , C04B41/4531 , C04B41/4572 , C04B35/52
Abstract: 本发明涉及碳组件及制造该碳组件的方法，所述碳组件内部具有孔道且外表面被覆有陶瓷涂层。所述碳组件包括接合在一起的两个碳平板部件。所述孔道由形成在至少一个所述碳平板部件的配合表面上的凹槽和另一所述碳平板部件的与所述凹槽相对向的配合部分限定。包含所述凹槽表面的所述孔道的内表面全部被覆有陶瓷涂层。
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公开(公告)号：CN102593034B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210012792.5
申请日：2012-01-16
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/60
CPC classification number: H01L21/68785 , C23C16/4404 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/4586 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67306 , H01L21/67309 , H01L21/68757
Abstract: 本发明的课题在于提供一种即使将支持定位构件的底座倒置，也不会出现定位构件、电子部件从底座上掉落的情况的电子部件定位用夹具，所述定位构件用于对电子部件进行定位。该电子部件定位用夹具(11)具备对电子部件(13)进行定位的碳制的定位构件(15)和将定位构件(15)支持在平面上的底座(17)，其中，所述底座(17)是由卡止定位构件(15)的框架构件(21)和固定该框架构件(21)的主体部(23)形成的，定位构件(15)是利用接合单元(29)将底座(17)的框架构件(21)固定在底座(17)的主体部(23)上从而以在底座(17)的主体部上能够位移的方式夹持在底座(17)的框架构件(21)和底座(17)的主体部(23)之间。
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公开(公告)号：CN102593034A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210012792.5
申请日：2012-01-16
Applicant: 揖斐电株式会社
IPC: H01L21/687 , H01L21/60
CPC classification number: H01L21/68785 , C23C16/4404 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/4586 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67306 , H01L21/67309 , H01L21/68757
Abstract: 本发明的课题在于提供一种即使将支持定位构件的底座倒置，也不会出现定位构件、电子部件从底座上掉落的情况的电子部件定位用夹具，所述定位构件用于对电子部件进行定位。该电子部件定位用夹具(11)具备对电子部件(13)进行定位的碳制的定位构件(15)和将定位构件(15)支持在平面上的底座(17)，其中，所述底座(17)是由卡止定位构件(15)的框架构件(21)和固定该框架构件(21)的主体部(23)形成的，定位构件(15)是利用接合单元(29)将底座(17)的框架构件(21)固定在底座(17)的主体部(23)上从而以在底座(17)的主体部上能够位移的方式夹持在底座(17)的框架构件(21)和底座(17)的主体部(23)之间。
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