一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚及其制备方法

    公开(公告)号:CN109627047A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811589767.7

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚的制备方法,按氯化钡和碳酸铵的摩尔比为1:1~1.2的进料速度,将熔体A和混合溶液A通过管式电阻炉内的石英喷嘴在石英坩埚本体的内表面上进行高温喷涂,固化成膜后,得到内涂层;在内涂层上涂覆由去离子水、硅溶胶、碳化硅和硅粉组成的混合浆液,通入高纯氮气经过高温氮化烧结后,得到氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚。本发明氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚,可以有效防止石英坩埚内极少量的金属原子游离至石英坩埚表面,造成涂层缺陷,从而影响单晶硅的成品率,通过氮化硅结合碳化硅复合涂层的制备进一步延长石英坩埚使用寿命。

    一种节能天然气珍珠岩膨胀设备

    公开(公告)号:CN109133990A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201811302842.7

    申请日:2018-11-02

    Inventor: 成祥洲

    CPC classification number: C04B41/0072 C04B41/009 C04B14/18

    Abstract: 本发明涉及天然气珍珠岩膨胀设备领域,具体涉及是一种节能天然气珍珠岩膨胀设备,包括烘干机构,烘干机外围包裹有保温管,第二提升机的出料端位于膨胀设备上的集料斗上方,并将烘干的原料输送至集料斗中,膨胀设备的出料端与旋风分离器的进料端连通,旋风分离器的气体出料口与第一管道连通,第一管道与保温管的进气口连通,且第一管道靠近第二提升机,保温管的出气口与第二管道连通,第二管道与多级除尘器的进气口连通,且第二管道靠近第一提升机。实现了在现有珍珠岩膨胀设备的基础上,改变各设备的连接关系,使得能够实现烘干机与膨胀设备的余热再利用,达到余热利用率提升效果。

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