公开(公告)号：CN108369921B

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN201680072132.2

申请日：2016-12-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： Z·J·叶 ,  塙广二 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  P·曼纳 ,  M·W·蒋 ,  A·高 ,  王文佼 ,  林永景 ,  P·K·库尔施拉希萨 ,  韩新海 ,  金柏涵 ,  K·D·李 ,  K·T·纳拉辛哈 ,  段子青 ,  D·帕德希

IPC: H01L21/683 ,  H05H1/46 ,  H01J49/10 ,  H01L21/687

Abstract: 公开对于静电夹盘的方法与设备的技术，此静电夹盘适合在高操作温度下操作。在一个示例中，提供一种基板支撑组件。基板支撑组件包含实质上碟形的陶瓷主体，陶瓷主体具有上表面、圆柱侧壁以及下表面。上表面经配置以支撑基板于上表面上，以在真空处理腔室中处理基板。圆柱侧壁界定陶瓷主体的外直径。下表面与上表面相对地设置。电极被设置在陶瓷主体中。电路被电连接至电极。电路包含DC夹紧电路、第一RF驱

公开(公告)号：CN108369921A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680072132.2

申请日：2016-12-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： Z·J·叶 ,  塙广二 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  P·曼纳 ,  M·W·蒋 ,  A·高 ,  王文佼 ,  林永景 ,  P·K·库尔施拉希萨 ,  韩新海 ,  金柏涵 ,  K·D·李 ,  K·T·纳拉辛哈 ,  段子青 ,  D·帕德希

IPC: H01L21/683 ,  H05H1/46 ,  H01J49/10 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/6833 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32091 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/28556

Abstract: 公开对于静电夹盘的方法与设备的技术，此静电夹盘适合在高操作温度下操作。在一个示例中，提供一种基板支撑组件。基板支撑组件包含实质上碟形的陶瓷主体，陶瓷主体具有上表面、圆柱侧壁以及下表面。上表面经配置以支撑基板于上表面上，以在真空处理腔室中处理基板。圆柱侧壁界定陶瓷主体的外直径。下表面与上表面相对地设置。电极被设置在陶瓷主体中。电路被电连接至电极。电路包含DC夹紧电路、第一RF驱动电路以及第二RF驱动电路。DC夹紧电路、第一RF驱动电路以及第二RF驱动电路电耦合至电极。