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公开(公告)号：CN104246980B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201380020953.8
申请日：2013-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱鸣伟 , 汪荣军 , 纳格·B·帕蒂班德拉 , 唐先明 , 维韦卡·阿格拉沃尔 , 成雄·马修·蔡 , 穆罕默德·拉希德 , 迪内希·塞加尔 , 普拉布兰姆·加帕伊·拉贾 , 奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 , 阿纳塔·苏比玛尼
IPC: H01L21/203 , H01L33/02 , H01L33/12
CPC classification number: H01L33/12 , C30B23/02 , C30B29/403 , H01L21/0237 , H01L21/02439 , H01L21/02458 , H01L21/02502 , H01L21/0254 , H01L21/02631 , H01L21/02661 , H01L29/205 , H01L33/007 , H01L33/06 , H01L33/32
Abstract: 描述利用物理气相沉积(PVD)形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光装置。亦描述用于PVD AlN缓冲层的工艺条件。亦描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。在实例中,制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积(PVD)腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝(AlN)层至基板表面上。
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公开(公告)号：CN119631169A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202380056394.X
申请日：2023-06-29
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , G06F3/04817 , G06F3/0482 , G06F3/04842 , G06F9/451
Abstract: 在实施方式中，一种方法包括以下步骤：由处理装置，在制造过程的执行期间接收由制造系统的处理腔室的多个传感器产生的第一传感器数据。所述方法包括以下步骤：由所述处理装置，在所述制造过程的执行期间接收由一个或多个外部传感器产生的第二传感器数据，所述一个或多个外部传感器不是所述处理腔室的部件。所述方法包括以下步骤：由所述处理装置，基于所述第一传感器数据和所述第二传感器数据，确定环境资源使用数据，所述环境资源使用数据表明在所述处理腔室上运行的所述制造过程的环境资源消耗。所述方法包括以下步骤：由所述处理装置，提供所述环境资源使用数据以显示在图形用户界面(GUI)上。
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公开(公告)号：CN109119518B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201810749783.1
申请日：2013-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱鸣伟 , 汪荣军 , 纳格·B·帕蒂班德拉 , 唐先明 , 维韦卡·阿格拉沃尔 , 成雄·马修·蔡 , 穆罕默德·拉希德 , 迪内希·塞加尔 , 普拉布兰姆·加帕伊·拉贾 , 奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 , 阿纳塔·苏比玛尼
Abstract: 描述利用物理气相沉积(PVD)形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光装置。亦描述用于PVD AlN缓冲层的工艺条件。亦描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。在一实例中，制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积(PVD)腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝(AlN)层至基板表面上。
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公开(公告)号：CN109119518A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810749783.1
申请日：2013-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱鸣伟 , 汪荣军 , 纳格·B·帕蒂班德拉 , 唐先明 , 维韦卡·阿格拉沃尔 , 成雄·马修·蔡 , 穆罕默德·拉希德 , 迪内希·塞加尔 , 普拉布兰姆·加帕伊·拉贾 , 奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 , 阿纳塔·苏比玛尼
Abstract: 描述利用物理气相沉积(PVD)形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光装置。亦描述用于PVD AlN缓冲层的工艺条件。亦描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。在一实例中，制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积(PVD)腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝(AlN)层至基板表面上。
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公开(公告)号：CN104246980A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020953.8
申请日：2013-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 朱鸣伟 , 汪荣军 , 纳格·B·帕蒂班德拉 , 唐先明 , 维韦卡·阿格拉沃尔 , 成雄·马修·蔡 , 穆罕默德·拉希德 , 迪内希·塞加尔 , 普拉布兰姆·加帕伊·拉贾 , 奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 , 阿纳塔·苏比玛尼
IPC: H01L21/203 , H01L33/02 , H01L33/12
CPC classification number: H01L33/12 , C30B23/02 , C30B29/403 , H01L21/0237 , H01L21/02439 , H01L21/02458 , H01L21/02502 , H01L21/0254 , H01L21/02631 , H01L21/02661 , H01L29/205 , H01L33/007 , H01L33/06 , H01L33/32
Abstract: 描述利用物理气相沉积(PVD)形成的氮化铝缓冲层来制造氮化镓基发光装置。亦描述用于PVD AlN缓冲层的工艺条件。亦描述用于PVD氮化铝缓冲层的基板预处理。在一实例中，制造缓冲层于基板上的方法包含预处理基板表面。所述方法亦包含随后利用氮基气体或等离子体从安置在物理气相沉积(PVD)腔室内的含铝靶材反应溅射氮化铝(AlN)层至基板表面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN309288632S
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202430458908.1
申请日：2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer： 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和参数选择框。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.图形用户界面的用途：用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明：请求保护的局部的用途：用于调出和显示信息。-
公开(公告)号：CN309288634S
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202430458980.4
申请日：2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer： 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的输入选择框和图表。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.图形用户界面的用途：用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明：请求保护的局部的用途：用于调出和显示信息。-
公开(公告)号：CN309288631S
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202430458857.2
申请日：2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer： 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和信息显示框。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.图形用户界面的用途：用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明：请求保护的局部的用途：用于调出和显示信息。-
公开(公告)号：CN309288629S
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202430458763.5
申请日：2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer： 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和信息显示框。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.图形用户界面的用途：用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明：请求保护的局部的用途：用于调出和显示信息。-
公开(公告)号：CN309288633S
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202430458960.7
申请日：2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer： 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和图表。
2.本外观设计产品的用途：一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点：在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
5.图形用户界面的用途：用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明：请求保护的局部的用途：用于调出和显示信息。
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