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公开(公告)号:CN117178350A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202280027625.X
申请日:2022-04-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿拉·莫拉迪亚 , 伊丽莎白·内维尔 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 马克·R·德诺姆 , 普拉沙斯·科斯努 , 卡廷克·拉马斯瓦米 , 卡尔蒂克·萨哈 , 奥兰多·特雷霍 , 谢尔盖·梅罗维奇
IPC: H01L21/67
Abstract: 一种方法,包括由处理装置接收对第一制造处理或第一制造设备中的至少一者的第一选择以执行第一制造处理的制造操作。该方法可进一步包括将第一选择输入至第一制造设备的数字副本中,其中数字副本输出第一制造处理的物理条件。该方法可进一步包括基于第制造处理的物理条件确定指示在第一制造设备上运行的第一制造处理的第一环境资源消耗的环境资源使用数据。处理装置可进一步确定对第一制造处理进行的修改,该修改减少在第一制造设备上运行的第一制造处理的环境资源消耗。该方法可进一步包括执行将修改应用于第一制造中的至少一者。
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公开(公告)号:CN116209965A
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202180064973.X
申请日:2021-09-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿拉·莫拉迪亚 , 詹姆斯·奥马尔·勒赫 , 盛殊然 , 罗希特·马哈卡里 , 卡廷克·拉马斯瓦米 , 张林 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 格沛拉克里西那·B·普拉布 , 政·元 , 吴正勋
IPC: G05B23/02
Abstract: 一种方法包括:从沿着输送管线定位的多个传感器接收测量数据,该输送管线将液体作为气体输送到气体面板或处理腔室的一者;使用计算机生成的模型仿真与输送管线和在输送管线周围定位的多个加热器护套相关联的一个或多个处理参数;将测量数据与一个或多个处理参数的值进行比较;和基于在测量数据与一个或多个处理参数的值之间的至少阈值偏差,确定存在与维持输送管线内的温度与液体的气态一致相关联的故障。
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公开(公告)号:CN119631169A
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202380056394.X
申请日:2023-06-29
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/67 , G06F3/04817 , G06F3/0482 , G06F3/04842 , G06F9/451
Abstract: 在实施方式中,一种方法包括以下步骤:由处理装置,在制造过程的执行期间接收由制造系统的处理腔室的多个传感器产生的第一传感器数据。所述方法包括以下步骤:由所述处理装置,在所述制造过程的执行期间接收由一个或多个外部传感器产生的第二传感器数据,所述一个或多个外部传感器不是所述处理腔室的部件。所述方法包括以下步骤:由所述处理装置,基于所述第一传感器数据和所述第二传感器数据,确定环境资源使用数据,所述环境资源使用数据表明在所述处理腔室上运行的所述制造过程的环境资源消耗。所述方法包括以下步骤:由所述处理装置,提供所述环境资源使用数据以显示在图形用户界面(GUI)上。
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公开(公告)号:CN117730288A
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202280052818.0
申请日:2022-12-05
Applicant: 应用材料公司
Inventor: 阿拉·莫拉迪亚 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 谢尔盖·梅罗维奇 , 卡尔蒂克·B·沙阿 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
IPC: G05B19/418
Abstract: 技术涉及用于半导体制造的生态效益监测和探索平台。一种方法包括以下步骤:由处理设备,接收表明对基板制造系统的更新的第一数据,所述基板制造系统具有第一制造装备配置并且对一个或多个工艺过程进行操作。所述方法进一步包括以下步骤:由所述处理设备,使用所述第一数据与数字复制品(digital replica)来确定环境资源数据。所述数字复制品包括所述基板制造系统的数字重制品(digital reproduction)。所述环境资源使用数据表明与由纳入所述更新的所述基板制造系统执行所述一个或多个工艺过程对应的环境资源消耗。所述方法进一步包括以下步骤:由所述处理设备,提供所述环境资源使用数据以显示在图形用户界面(GUI)上。
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公开(公告)号:CN309288632S
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202430458908.1
申请日:2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和参数选择框。
2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.图形用户界面的用途:用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和显示信息。-
公开(公告)号:CN308879918S
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202230297388.1
申请日:2022-05-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 谢尔盖·梅罗维奇 , 卡尔蒂克·B·沙阿 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态影响显示图形用户界面的按钮和数据呈现部件。
2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品是一种电子设备。
带有图形用户界面的显示屏幕面板用于通信终端,例如手机、笔记本电脑、台式电脑、平板电脑、个人数字助理、工艺腔室的通信终端、增强现实头戴耳机等。
3.本外观设计产品的设计要点:在于仅在于图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片:设计1主视图。
5.指定设计1为基本设计。
6.图形用户界面的用途:用户可点击屏幕右上图标来切换视图(例如在不同图中所示视图之间),可将鼠标指针悬停在某些区域/图像/图标上以呈现另外的信息,可点击设计2主视图左侧的任何工具ID或设计1主视图左侧的不同工具以调出有关该工具的信息,且可点击各视图中其他文本/图标以调出额外信息。
7.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和呈现信息。
8.每个视图中表示图形用户界面各区域的虚线和表示显示屏幕的虚线仅用于说明目的而不构成所要求保护的设计的部分。-
公开(公告)号:CN309288634S
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202430458980.4
申请日:2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的输入选择框和图表。
2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.图形用户界面的用途:用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和显示信息。-
公开(公告)号:CN309288631S
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202430458857.2
申请日:2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和信息显示框。
2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.图形用户界面的用途:用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和显示信息。-
公开(公告)号:CN309288629S
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202430458763.5
申请日:2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和信息显示框。
2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.图形用户界面的用途:用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和显示信息。-
公开(公告)号:CN309288633S
公开(公告)日:2025-05-13
申请号:CN202430458960.7
申请日:2023-01-19
Applicant: 应用材料公司
Designer: 阿拉·莫拉迪亚 , 阿列克谢·亚诺维奇 , 伊丽莎白·内维尔 , 奥兰多·特雷霍 , 村山聡美 , 乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 , 迪内希·塞加尔 , 纳斯林·加扎拉·乔普拉 , 什里亚斯·苏雷什·库尔
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于电子设备的生态效率仪表板图形用户界面的按钮和图表。
2.本外观设计产品的用途:一种电子设备。
3.本外观设计产品的设计要点:在于图形用户界面的用实线绘制的部分。
4.最能表明设计要点的图片或照片:主视图。
5.图形用户界面的用途:用于显示生态效率信息。
6.其他需要说明的情形其他说明:请求保护的局部的用途:用于调出和显示信息。
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