公开(公告)号：CN116209965A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202180064973.X

申请日：2021-09-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿拉·莫拉迪亚 ,  詹姆斯·奥马尔·勒赫 ,  盛殊然 ,  罗希特·马哈卡里 ,  卡廷克·拉马斯瓦米 ,  张林 ,  乌梅什·马德哈夫·克尔卡尔 ,  格沛拉克里西那·B·普拉布 ,  政·元 ,  吴正勋

IPC: G05B23/02

Abstract: 一种方法包括：从沿着输送管线定位的多个传感器接收测量数据，该输送管线将液体作为气体输送到气体面板或处理腔室的一者；使用计算机生成的模型仿真与输送管线和在输送管线周围定位的多个加热器护套相关联的一个或多个处理参数；将测量数据与一个或多个处理参数的值进行比较；和基于在测量数据与一个或多个处理参数的值之间的至少阈值偏差，确定存在与维持输送管线内的温度与液体的气态一致相关联的故障。

公开(公告)号：CN118511264A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202380016447.5

申请日：2023-01-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 罗希特·马哈卡里 ,  伊丽莎白·凯瑟琳·尼维尔 ,  阿道夫·米勒·艾伦 ,  袁小雄 ,  胡蔚泽 ,  卡廷克·拉马纳斯安

IPC: H01L21/67 ,  G05B23/02 ,  G06N20/00

Abstract: 方法包括从传感器接收与经由基板处理装备的处理腔室处理基板相关联的传感器数据。这些传感器数据包括从一或多个第一传感器接收的第一子集合，和从一或多个第二传感器接收的第二子集合，第一子集合被映射至第二子集合。所述方法进一步包括识别模型输入数据与模型输出数据。模型输出数据是基于模型输入数据从基于物理学的模型输出的。所述方法进一步包括利用包括第一子集合与模型输入数据的数据输入及包括第二子集合与模型输出数据的目标输出数据来训练机器学习模型，以调谐机器学习模型的校准参数。校准参数会被基于物理学的模型使用，以实行与处理腔室相关联的校正动作。