公开(公告)号：CN112074784B

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN201980025345.3

申请日：2019-02-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 凯文·劳顿·坎宁安 ,  曼尼瓦南·托塔德里

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。

公开(公告)号：CN114026627B

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202080046786.4

申请日：2020-06-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 曼尼瓦南·托塔德里 ,  尤哈维 ,  海琳达·诺米南达 ,  尼尔·莫里森 ,  丹尼尔·保罗·福斯特 ,  阿文德·查达

IPC: G09F9/30 ,  H10K50/858 ,  H10K77/10 ,  G02B1/11 ,  G02B1/116 ,  G02B1/14 ,  G02B1/18 ,  G02F1/1333 ,  H05K5/03

Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置，且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中，柔性覆盖透镜组件包含：玻璃层、位于玻璃层上的粘性促进层、设置在粘性促进层上的抗反射层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在抗反射层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。

公开(公告)号：CN114096894A

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202080046775.6

申请日：2020-06-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 曼尼瓦南·托塔德里 ,  尤哈维 ,  海琳达·诺米南达 ,  尼尔·莫里森 ,  丹尼尔·保罗·福斯特 ,  阿文德·查达

IPC: G02B1/14 ,  G02B1/18 ,  G02B3/00 ,  G09F9/30

Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置，且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中，柔性覆盖透镜组件包含：玻璃层、设置在玻璃层上的粘性促进层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在粘性促进层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。

公开(公告)号：CN114041181B

公开(公告)日：2024-06-21

申请号：CN202080046782.6

申请日：2020-06-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 曼尼瓦南·托塔德里 ,  尤哈维 ,  海琳达·诺米南达 ,  尼尔·莫里森 ,  丹尼尔·保罗·福斯特 ,  阿文德·查达

IPC: G09F9/30 ,  G02B1/11 ,  G02B1/14 ,  G02B1/18

Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置，且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中，柔性覆盖透镜组件包含：玻璃层、设置在玻璃层上的冲击吸收层、设置在冲击吸收层上的防潮层、设置在防潮层上的基板、具有约0.4GPa至约1.5GPa范围内的纳米压痕硬度且设置在基板上的湿硬涂层、设置在湿硬涂层上的粘性促进层、设置在粘性促进层上的抗反射层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在抗反射层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。

公开(公告)号：CN112074784A

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201980025345.3

申请日：2019-02-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 凯文·劳顿·坎宁安 ,  曼尼瓦南·托塔德里

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。

公开(公告)号：CN109983392A

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：CN201780068578.2

申请日：2017-12-11

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 约翰·M·怀特 ,  克里斯托弗·丹尼斯·本彻 ,  曼尼瓦南·托塔德里 ,  罗伯特·简·维瑟

IPC: G02B27/02 ,  G02B27/01 ,  G02B27/22

Abstract: 本公开内容一般涉及光场显示器和用光场阵列显示图像的方法。在一个示例中，本公开内容涉及用于光场显示器的像素布置。每个像素包括多个LED，诸如微LED，所述多个LED与每个像素的相应微透镜相邻地定位。

公开(公告)号：CN113196123B

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN201980083749.8

申请日：2019-12-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 卡提克·雷马斯瓦米 ,  杨扬 ,  曼尼瓦南·托塔德里 ,  陈建安 ,  卢多维克·戈代 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森

IPC: G02B6/122

Abstract: 本公开内容的方面涉及用于制造波导的装置。在一个实例中，利用成角度的离子源来朝向基板投射离子以形成包括成角度的光栅的波导。在另一个实例中，利用成角度的电子束源来朝向基板投射电子以形成包括成角度的光栅的波导。本公开内容的另外的方面提供了用于利用成角度的离子束源和成角度的电子束源来在波导上形成成角度的光栅的方法。

公开(公告)号：CN114223025B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202080046783.0

申请日：2020-06-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 曼尼瓦南·托塔德里 ,  尤哈维 ,  海琳达·诺米南达 ,  尼尔·莫里森 ,  丹尼尔·保罗·福斯特 ,  阿文德·查达

IPC: G09F9/30 ,  G02B1/11 ,  G02B1/18 ,  G02B1/14

Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置，且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中，柔性覆盖透镜组件包含：基板、抗指纹涂层、以及设置在基板与抗指纹涂层之间的粘性促进层。

公开(公告)号：CN113227859A

公开(公告)日：2021-08-06

申请号：CN201980083890.8

申请日：2019-12-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 卢多维克·戈代 ,  罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 ,  卡提克·雷马斯瓦米 ,  杨扬 ,  曼尼瓦南·托塔德里 ,  陈建安

IPC: G02B6/13 ,  G02B6/122 ,  G02B6/12

Abstract: 本公开内容的方面涉及用于制造波导的装置。在一个实例中，利用成角度的离子源来朝向基板投射离子以形成包括成角度的光栅的波导。在另一个实例中，利用成角度的电子束源来朝向基板投射电子以形成包括成角度的光栅的波导。本公开内容的另外的方面提供了用于利用成角度的离子束源和成角度的电子束源来在波导上形成成角度的光栅的方法。

公开(公告)号：CN118711458A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202410752251.9

申请日：2020-06-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 曼尼瓦南·托塔德里 ,  尤哈维 ,  海琳达·诺米南达 ,  尼尔·莫里森 ,  丹尼尔·保罗·福斯特 ,  阿文德·查达

IPC: G09F9/30 ,  G02B1/11 ,  G02B1/14 ,  G02B1/18 ,  G02B1/116 ,  G02F1/1333 ,  H05K5/03 ,  H10K50/858 ,  H10K77/10

Abstract: 本文所描述和讨论的实施方式大体涉及柔性或可折叠的显示装置，且更具体地涉及柔性覆盖透镜组件。在一个或多个实施方式中，柔性覆盖透镜组件包含：玻璃层、位于玻璃层上的粘性促进层、设置在粘性促进层上的抗反射层、具有约1GPa至约5Gpa范围内的纳米压痕硬度且设置在抗反射层上的干硬涂层、以及设置在干硬涂层上的抗指纹涂层。