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公开(公告)号：CN112074784B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN201980025345.3
申请日：2019-02-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113227901A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085140.4
申请日：2019-12-06
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文中描述的实施方式提供减小被写入到光刻胶中的部分的宽度的大面积光刻的方法。所述方法的一个实施方式包括在最小波长下将多个光束的初始光束投射到在所述多个光束的传播方向中的掩模。所述掩模具有多个色散元件。增加所述多个光束的各光束的波长直到所述多个光束的最后光束在最大波长下被投射。所述掩模的多个色散元件将所述多个光束衍射成阶模束以在位于所述掩模与上面设置有光刻胶层的衬底之间的介质中产生强度图案。具有多个强度顶点的所述强度图案将多个部分写入所述光刻胶层中。
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公开(公告)号：CN113227901B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980085140.4
申请日：2019-12-06
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本文中描述的实施方式提供减小被写入到光刻胶中的部分的宽度的大面积光刻的方法。所述方法的一个实施方式包括在最小波长下将多个光束的初始光束投射到在所述多个光束的传播方向中的掩模。所述掩模具有多个色散元件。增加所述多个光束的各光束的波长直到所述多个光束的最后光束在最大波长下被投射。所述掩模的多个色散元件将所述多个光束衍射成阶模束以在位于所述掩模与上面设置有光刻胶层的衬底之间的介质中产生强度图案。具有多个强度顶点的所述强度图案将多个部分写入所述光刻胶层中。
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公开(公告)号：CN113490883A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202080016881.X
申请日：2020-02-09
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开内容的实施方式总体涉及图案复制、压印光刻，并且更特别地涉及用于无接缝地形成大面积压印的方法和设备。本文公开的方法大体包括用填料材料填充在母板对之间的接缝，使得所述接缝与所述母板的具有设置在其上的多个特征的表面齐平。
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公开(公告)号：CN118160127A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280068857.X
申请日：2022-09-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 类维生 , G·K·戈帕拉克里希南·奈尔 , 赵·K·秋静 , 丹尼尔·斯托克 , 托比亚斯·斯托利 , 托马斯·德皮施 , 简·德尔马斯 , 肯尼斯·S·勒德福 , 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 , 基兰·瓦查尼 , 马亨德兰·奇丹巴拉姆 , 罗兰·特拉斯尔 , 尼尔·莫里森 , 弗兰克·施纳朋伯杰 , 凯文·劳顿·坎宁安 , 斯蒂芬·班格特 , 詹姆斯·库辛 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南
IPC: H01M10/058 , H01M10/052 , B23K26/36 , B23K26/352
Abstract: 提供用于借由具有宽工艺窗、高效率及低成本的激光源来处理锂电池的方法及设备。激光源被调适以实现皮秒脉冲的高平均功率及高频率。激光源可在固定位置或以扫描模式产生线形光束。系统可在干燥室或真空环境中操作。系统可包括对处理位点的碎屑移除机制(例如，惰性气体流)以移除在图案化工艺期间产生的碎屑。
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公开(公告)号：CN112074784A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201980025345.3
申请日：2019-02-19
Applicant: 应用材料公司
IPC: G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本公开内容的实施方式一般涉及压印光刻，且更具体地涉及用于制造无接缝的大面积压印的方法和设备。本文公开的方法一般包括将印模或产品中的特征的固化时间与接缝和周边的固化时间分开。接缝和周边可以首先固化，或者接缝和周边可以最后固化。另外，接缝固化操作可以在主板、印模上或最终产品上进行。
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