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公开(公告)号：CN116391061B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080106436.2
申请日：2020-10-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 格德·霍夫曼 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 托马斯·德皮施 , 罗兰·特拉斯尔
Abstract: 一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中导引卷材(12)的滚筒装置(10)、一种包含包括所述滚筒装置(10)的真空腔室(16)的卷材涂覆设备(14)、和一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中控制卷材(12)的温度的方法。所述滚筒装置(10)包含：‑可旋转滚筒(100)，所述可旋转滚筒具有面向卷材表面(102)，所述面向卷材表面包含第一面向卷材表面部分(104)；‑气体分配系统(400)，所述气体分配系统用于将包括气体组成物的气流(115)提供到在所述卷材(12)与所述第一面向卷材表面部分(104)之间的表示为第一空隙(110)的空隙中，所述气体组成物包含气体、和/或液体的蒸气；和‑温度调整系统(300)，所述温度调整系统经适配以用于控制所述第一面向卷材表面部分(104)的温度，使得所述气体组成物以所述气体和/或所述液体改变聚集状态的方式冷却，由此在所述第一空隙(110)中形成非气态垫(116)。
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公开(公告)号：CN117242025A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202280032456.9
申请日：2022-04-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: B65H20/14
Abstract: 描述了一种用于传输柔性基板(10)的辊(100)。辊(100)包括主体(101)，其具有设置在主体(101)的外表面(102)中的多个气体供应狭缝(103)。多个气体供应狭缝(103)在辊(100)的中心旋转轴线(111)的方向上延伸。此外，辊(100)包括被设置为周向地围绕主体(101)并与主体(101)接触的套筒(104)。套筒(104)具有设置在多个气体供应狭缝(103)的上方的多个气体出口(105)。此外，套筒(104)包括嵌入在隔离材料内的金属层(106)。
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公开(公告)号：CN110100040A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201780053270.0
申请日：2017-11-28
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本发明描述一种用以涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。沉积设备包含容纳存储线轴(112)的第一线轴腔室(110)、布置于第一线轴腔室(110)的下游的沉积腔室(120)、以及布置于沉积腔室(120)的下游且容纳卷绕线轴(152)的第二线轴腔室(150)，存储线轴(112)用以提供柔性基板(10)，卷绕线轴(152)用以在沉积后使柔性基板(10)卷绕于其上。沉积腔室(120)包含用以导引柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)，多个沉积单元(121)包含具有石墨靶(125)的至少一个沉积单元(124)。涂布滚筒连接至用以施加电位至涂布滚筒的装置(140)。
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公开(公告)号：CN116635566A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202080106890.8
申请日：2020-10-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 根据本公开内容的各方面，提供了用于在基板上沉积蒸镀材料层的沉积源、沉积设备和方法。所述沉积源(100)包括：坩埚(104)，所述坩埚用于提供蒸镀材料；第一喷嘴区(110)，所述第一喷嘴区在第一方向上延伸并具有与所述坩埚(104)连通的第一多个喷嘴(101)；以及第二喷嘴区(120)，所述第二喷嘴区从所述第一喷嘴区(110)的端部在所述第一方向上延伸，所述第二喷嘴区(120)具有与所述坩埚(104)连通的第二多个喷嘴(102)，其中所述第二多个喷嘴(102)中的每个相邻喷嘴在朝向所述第一喷嘴区的方向上倾斜。所述沉积设备(200)包括：真空腔室(201)；根据本公开内容的各方面的沉积源(100)；以及基板运输机或源运输机，所述基板运输机用于将所述基板S运输经过所述沉积源(100)，所述源运输机用于将所述沉积源(100)运输经过所述基板S。
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公开(公告)号：CN107250965A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075964.5
申请日：2015-02-12
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·德皮施
IPC: G06F3/044 , H01L31/0224
Abstract: 本公开内容提供一种适于用于触摸屏幕面板、电致变色玻璃和光伏装置中的层堆叠(100)，包括：透明导电氧化物层(110)；以及导电材料的线路图案(120)，导电材料的线路图案被施加于透明导电氧化物层(110)，其中透明导电氧化物层(110)和线路图案(120)彼此电性接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118160127A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202280068857.X
申请日：2022-09-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 类维生 , G·K·戈帕拉克里希南·奈尔 , 赵·K·秋静 , 丹尼尔·斯托克 , 托比亚斯·斯托利 , 托马斯·德皮施 , 简·德尔马斯 , 肯尼斯·S·勒德福 , 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 , 基兰·瓦查尼 , 马亨德兰·奇丹巴拉姆 , 罗兰·特拉斯尔 , 尼尔·莫里森 , 弗兰克·施纳朋伯杰 , 凯文·劳顿·坎宁安 , 斯蒂芬·班格特 , 詹姆斯·库辛 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南
IPC: H01M10/058 , H01M10/052 , B23K26/36 , B23K26/352
Abstract: 提供用于借由具有宽工艺窗、高效率及低成本的激光源来处理锂电池的方法及设备。激光源被调适以实现皮秒脉冲的高平均功率及高频率。激光源可在固定位置或以扫描模式产生线形光束。系统可在干燥室或真空环境中操作。系统可包括对处理位点的碎屑移除机制(例如，惰性气体流)以移除在图案化工艺期间产生的碎屑。
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公开(公告)号：CN116391061A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202080106436.2
申请日：2020-10-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 格德·霍夫曼 , 托尔斯滕•布鲁诺•迪特尔 , 托马斯·德皮施 , 罗兰·特拉斯尔
IPC: C23C14/56
Abstract: 一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中导引卷材(12)的滚筒装置(10)、一种包含包括所述滚筒装置(10)的真空腔室(16)的卷材涂覆设备(14)、和一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中控制卷材(12)的温度的方法。所述滚筒装置(10)包含：‑可旋转滚筒(100)，所述可旋转滚筒具有面向卷材表面(102)，所述面向卷材表面包含第一面向卷材表面部分(104)；‑气体分配系统(400)，所述气体分配系统用于将包括气体组成物的气流(115)提供到在所述卷材(12)与所述第一面向卷材表面部分(104)之间的表示为第一空隙(110)的空隙中，所述气体组成物包含气体、和/或液体的蒸气；和‑温度调整系统(300)，所述温度调整系统经适配以用于控制所述第一面向卷材表面部分(104)的温度，使得所述气体组成物以所述气体和/或所述液体改变聚集状态的方式冷却，由此在所述第一空隙(110)中形成非气态垫(116)。
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公开(公告)号：CN118639209A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410739936.X
申请日：2016-06-02
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述一种辊装置(100)，所述辊装置用于导向卷材(200)并且用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与辊装置接触的卷材(200)的温度。辊装置包含辊装置(100)的曲面(101)，用于接触卷材(200)，其中曲面(101)包含卷材导向区域(103)。辊装置进一步包含在曲面(101)中的气体出口(104)的组和气体分配系统(105)，所述气体分配系统用于选择性地提供气流至气体出口(104)的第一子组和选择性地避免气体流至气体出口(104)的第二子组。辊装置进一步包含驱动单元(110)，用于旋转曲面(101)，其中曲面(101)适用于导引卷材(200)在曲面旋转时的移动。
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公开(公告)号：CN117295843A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202280032702.0
申请日：2022-04-18
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 描述了一种用于传输柔性基板(10)的辊(100)。辊(100)包括主体(101)，具有提供在主体(101)的外表面中的多个气体供应狭缝(103)。多个气体供应狭缝(103)在辊(100)的中心旋转轴线(111)的方向上延伸。此外，辊(100)包括被提供为周向地围绕主体(101)并与主体(101)接触的套筒(104)。套筒(104)具有在径向方向(R)上延伸并被提供在多个气体供应狭缝(103)上方的多个气体出口(105)。
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