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公开(公告)号：CN111108640B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201780095020.3
申请日：2017-09-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 苏布拉曼亚·赫尔勒
IPC: H01M50/403 , C23C14/00 , C23C14/24 , C23C14/56 , C23C16/448 , H01M4/04 , H01M4/139 , C23C14/22 , C23C14/26 , H01M50/40 , H01M50/491 , H01M10/052 , H01M50/434
Abstract: 提供一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层的蒸发源(102)。所述蒸发源(102)包括：材料源(140)，被配置为蒸发材料；气体源，具有第一气体出口(107a)及第二气体出口(107b)，第一气体出口被配置为提供第一处理气体，第二气体出口被配置为提供第二处理气体，第一处理气体包括氧且第二处理气体包括氢，陶瓷层(52)至少由蒸发的材料、第一处理气体及第二处理气体形成。
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公开(公告)号：CN109563607A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201680088171.1
申请日：2016-08-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔
Abstract: 提供一种用于在由处理滚筒(170)支撑的柔性基板(160)上沉积材料的蒸发设备(100)。所述蒸发设备包括第一组蒸发坩埚(110)和气体供应管(130)。第一组蒸发坩埚(110)沿第一方向排列在第一线(120)中，以产生将沉积于柔性基板(160)上的被蒸发材料的云状物(151)。气体供应管(130)沿第一方向延伸且被布置于第一组蒸发坩埚(110)的蒸发坩埚和处理滚筒(170)之间。其中气体供应管(130)包括多个出口(133)，以提供被导引至被蒸发材料的云状物中的气体供应，并且其中多个出口的位置是可调整的，以改变被导引至被蒸发材料的云状物的气体供应的位置。
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公开(公告)号：CN111133609A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201780094919.3
申请日：2017-09-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 托马斯·德皮希 , 苏布拉曼亚·赫尔勒 , 肯特·赵
IPC: H01M2/14 , C23C14/00 , C23C14/24 , C23C16/448 , H01M4/04 , H01M4/139 , H01M10/052 , C23C14/22 , C23C14/32 , C23C14/56
Abstract: 提供一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层的蒸发源(102)。蒸发源(102)包括：材料源，被配置为蒸发材料；气体源，被配置为提供处理气体；以及等离子体源(108)，被配置为至少部分地离子化处理气体，陶瓷层(52)至少由蒸发的材料及至少部分地离子化的处理气体形成。
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公开(公告)号：CN107078004B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201480083215.2
申请日：2014-11-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , G21K5/10
Abstract: 依据本公开内容，提供一种用于处理基板的带电粒子装置以及用于增加带电粒子装置的提取效率的方法。带电粒子装置包括壳体、狭缝开口以及第二电极。壳体提供第一电极，且具有后壁与前壁。狭缝开口位于壳体内。第二电极配置于壳体内且具有面向狭缝开口的第一侧。第二电极包括一个或多个束成形延伸件，所述束成形延伸件在朝向壳体的前壁的方向上，从第二电极凸出，用以引导带电粒子束通过狭缝开口。
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公开(公告)号：CN107078004A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083215.2
申请日：2014-11-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J3/02 , H01J37/077 , G21K5/10
Abstract: 依据本公开内容，提供一种用于处理基板的带电粒子装置以及用于增加带电粒子装置的提取效率的方法。带电粒子装置包括壳体、狭缝开口以及第二电极。壳体提供第一电极，且具有后壁与前壁。狭缝开口位于壳体内。第二电极配置于壳体内且具有面向狭缝开口的第一侧。第二电极包括一个或多个束成形延伸件，所述束成形延伸件在朝向壳体的前壁的方向上，从第二电极凸出，用以引导带电粒子束通过狭缝开口。
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公开(公告)号：CN111133609B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN201780094919.3
申请日：2017-09-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 托马斯·德皮希 , 苏布拉曼亚·赫尔勒 , 肯特·赵
IPC: H01M50/434 , H01M50/403 , C23C14/00 , C23C14/24 , C23C16/448 , H01M4/04 , H01M4/139 , H01M10/052 , C23C14/22 , C23C14/32 , C23C14/56
Abstract: 提供一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层的蒸发源(102)。蒸发源(102)包括：材料源，被配置为蒸发材料；气体源，被配置为提供处理气体；以及等离子体源(108)，被配置为至少部分地离子化处理气体，陶瓷层(52)至少由蒸发的材料及至少部分地离子化的处理气体形成。
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公开(公告)号：CN111108640A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201780095020.3
申请日：2017-09-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 苏布拉曼亚·赫尔勒
IPC: H01M10/052 , C23C14/00 , C23C14/24 , C23C14/56 , C23C16/448 , H01M2/14 , H01M4/04 , H01M4/139 , C23C14/22 , C23C14/26
Abstract: 提供一种用于形成电化学能储存装置的元件的陶瓷层的蒸发源(102)。所述蒸发源(102)包括：材料源(140)，被配置为蒸发材料；气体源，具有第一气体出口(107a)及第二气体出口(107b)，第一气体出口被配置为提供第一处理气体，第二气体出口被配置为提供第二处理气体，第一处理气体包括氧且第二处理气体包括氢，陶瓷层(52)至少由蒸发的材料、第一处理气体及第二处理气体形成。
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公开(公告)号：CN107078008A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083186.X
申请日：2014-11-07
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01J37/077 , H01J37/304
Abstract: 根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。
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公开(公告)号：CN116391061B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080106436.2
申请日：2020-10-21
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 格德·霍夫曼 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 托马斯·德皮施 , 罗兰·特拉斯尔
Abstract: 一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中导引卷材(12)的滚筒装置(10)、一种包含包括所述滚筒装置(10)的真空腔室(16)的卷材涂覆设备(14)、和一种用于在真空条件下的卷材涂覆工艺中控制卷材(12)的温度的方法。所述滚筒装置(10)包含：‑可旋转滚筒(100)，所述可旋转滚筒具有面向卷材表面(102)，所述面向卷材表面包含第一面向卷材表面部分(104)；‑气体分配系统(400)，所述气体分配系统用于将包括气体组成物的气流(115)提供到在所述卷材(12)与所述第一面向卷材表面部分(104)之间的表示为第一空隙(110)的空隙中，所述气体组成物包含气体、和/或液体的蒸气；和‑温度调整系统(300)，所述温度调整系统经适配以用于控制所述第一面向卷材表面部分(104)的温度，使得所述气体组成物以所述气体和/或所述液体改变聚集状态的方式冷却，由此在所述第一空隙(110)中形成非气态垫(116)。
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公开(公告)号：CN116711087A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202180081402.7
申请日：2021-12-02
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 罗兰·特拉斯尔
IPC: H01M4/04
Abstract: 描述了一种制造用于锂电池的阳极结构(10)的方法。方法包括以下步骤：在第一柔性支撑件(21)上的锂的第一沉积，以提供具有第一锂表面(31)的锂阳极－第一子层(12‑1)；在第二柔性支撑件(22)上的锂的第二沉积，以提供具有第二锂表面(32)的锂阳极－第二子层(12‑2)；通过将第一锂表面和第二锂表面压在一起，将锂阳极－第一子层(12‑1)和锂阳极－第二子层(12‑2)结合，以形成锂金属阳极层(12)。进一步描述了具有根据所述方法制造的阳极结构的锂电池层堆叠，以及用于制造如于此所述的阳极结构的真空沉积系统。
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