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公开(公告)号：CN116670321A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202180089459.1
申请日：2021-12-28
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 提供了一种蒸气沉积设备。蒸气沉积设备包括用于提供液化材料的罐、具有可变第一容积的第一单元，所述第一单元包括第一致动器并且包括与罐流体连通的第一管线。此外，蒸气沉积设备包括具有可变第二容积的第二单元，所述第二单元包括第二致动器并且包括与罐流体连通的第二管线。蒸气沉积设备包括蒸发布置，所述蒸发布置与第一单元和第二单元流体连通。第一致动器及第二致动器经配置以交替地向可变第一容积和可变第二容积提供力，用于将液化材料提供给蒸发布置。
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公开(公告)号：CN107078008B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201480083186.X
申请日：2014-11-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/077 , H01J37/304
摘要： 根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。
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公开(公告)号：CN109415804A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780009649.1
申请日：2017-06-14
申请人： 应用材料公司
发明人： 托马斯·德皮施 , 于尔根·乌尔里奇 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·海因 , 斯特凡·劳伦兹 , 沃尔特·文德尔穆特 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔克·哈克 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 尼尔·莫里森 , 乌韦·赫尔曼斯 , 德克·瓦格纳 , 赖纳·克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 瓦莱里亚·梅特
摘要： 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒，用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。此外，描述一种用于涂覆柔性基板的方法，特别是使用所描述的沉积设备涂覆柔性基板的方法。
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公开(公告)号：CN107078008A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083186.X
申请日：2014-11-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/077 , H01J37/304
摘要： 根据本公开案，提供一种用于处理可移动的基板的带电粒子装置以及一种用于在处理系统中处理移动的基板的方法。带电粒子装置包括源以及束位移装置，源用于形成带电粒子束，以处理沿着运送方向移动的基板，束位移装置用于使带电粒子束从第一束轨迹沿着所述运送方向移动至至少第二束轨迹。
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公开(公告)号：CN101903969B
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN200880121937.7
申请日：2008-11-24
申请人： 应用材料公司
发明人： 贡特尔·克莱姆 , 沃尔克·哈克 , 汉斯-格奥尔格·洛兹
IPC分类号： H01J37/077 , H01J37/305 , C23C14/30
CPC分类号： H01J37/077 , C23C14/22 , C23C14/243 , C23C14/30 , H01J37/3053
摘要： 所公开的是给腹板或箔充电的方法。所述方法包含由至少一个滚轮引导具有10μm或更大厚度的腹板或箔；设置线性电子源(100)，线性电子源(100)具有外壳(112)，所述外壳用作阳极，所述外壳具有：侧壁(312)；狭缝开口(114)，位于所述外壳中用于使线性电子束穿透，所述狭缝开口界定所述源的长度方向；阴极，安排在所述外壳内并具有第一侧(413)，第一侧(413)面对所述狭缝开口；至少一个气体供应器(70)，气体供应器(70)用于提供气体至所述外壳中；及电源供应器，电源供应器用于在所述阳极和所述阴极间提供高电压；及发射所述线性电子束，其中调整所述高电压以用于提供电子能量以在所述腹板或箔内部注入所述电子束的电子。
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公开(公告)号：CN107078004B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201480083215.2
申请日：2014-11-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J3/02 , H01J37/077 , G21K5/10
摘要： 依据本公开内容，提供一种用于处理基板的带电粒子装置以及用于增加带电粒子装置的提取效率的方法。带电粒子装置包括壳体、狭缝开口以及第二电极。壳体提供第一电极，且具有后壁与前壁。狭缝开口位于壳体内。第二电极配置于壳体内且具有面向狭缝开口的第一侧。第二电极包括一个或多个束成形延伸件，所述束成形延伸件在朝向壳体的前壁的方向上，从第二电极凸出，用以引导带电粒子束通过狭缝开口。
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公开(公告)号：CN109477203A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087568.9
申请日：2016-07-01
申请人： 应用材料公司
发明人： 托马斯·德皮施 , 斯蒂芬·海因 , 尼尔·莫里森 , 赖纳·库克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·劳伦兹 , 德克·瓦格纳 , 瓦莱里亚·梅特 , 沃尔克·哈克 , 乌韦·赫尔曼斯 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔特·文德尔穆特 , 于尔根·乌尔里奇
摘要： 描述一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，配置用于容纳存储卷筒，所述存储卷筒用于提供柔性基板；第一沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室下游并且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在第一沉积腔室(120)下游并且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室，布置在第二沉积腔室(140)下游并且被配置用于容纳缠绕卷筒，所述缠绕卷筒用于在沉积之后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板；和辊组件，配置成将柔性基板(10)沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。此外，描述一种涂布柔性基板的方法，特别是用所描述的沉积设备涂布柔性基板的方法。
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公开(公告)号：CN107078004A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083215.2
申请日：2014-11-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J3/02 , H01J37/077 , G21K5/10
摘要： 依据本公开内容，提供一种用于处理基板的带电粒子装置以及用于增加带电粒子装置的提取效率的方法。带电粒子装置包括壳体、狭缝开口以及第二电极。壳体提供第一电极，且具有后壁与前壁。狭缝开口位于壳体内。第二电极配置于壳体内且具有面向狭缝开口的第一侧。第二电极包括一个或多个束成形延伸件，所述束成形延伸件在朝向壳体的前壁的方向上，从第二电极凸出，用以引导带电粒子束通过狭缝开口。
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公开(公告)号：CN208501092U
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201721276952.1
申请日：2017-09-30
申请人： 应用材料公司
发明人： 托马斯·德皮施 , 于尔根·乌尔里奇 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·海因 , 斯特凡·劳伦兹 , 沃尔特·文德尔穆特 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔克·哈克 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 尼尔·莫里森 , 乌韦·赫尔曼斯 , 德克·瓦格纳 , 赖纳·克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 瓦莱里亚·梅特
摘要： 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒,用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。
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