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公开(公告)号：CN110168135A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201780082884.1
申请日：2017-01-12
申请人： 应用材料公司
发明人： 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
摘要： 描述一种适用于在触控屏幕面板中使用的硬涂层系统(100)。硬涂层系统(100)包括柔性基板(101)及设置于柔性基板(101)上的层堆叠物(110)。层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)及无机硬涂顶层(113)，粘附促进层设置于柔性基板(101)上。粘附促进层(111)构造成以共价键结合于柔性基板的表面，其中粘附促进层(111)在与柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于柔性基板(101)的机械性质。
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公开(公告)号：CN102511073A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201080042207.5
申请日：2010-09-15
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： H01L21/67132 , B65H23/24 , B65H23/32 , B65H2601/254 , B65H2801/87
摘要： 提供一种模组化基板处理系统，用以处理柔性基板。该系统包含于水平方向中相互邻近设置的至少两个处理模组。该处理模组包含气垫滚轮，气垫滚轮适于无接触导引柔性基板，并适于使柔性基板在垂直方向中转向。
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公开(公告)号：CN110177683B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201780083056.X
申请日：2017-01-12
申请人： 应用材料公司
发明人： 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
IPC分类号： B32B15/08 , B32B27/10 , B32B27/28 , B32B27/30 , B32B27/32 , B32B27/36 , B32B27/40 , B32B29/00 , C23C16/30 , B32B15/082 , B32B15/085 , B32B15/09 , B32B15/095 , B32B23/00 , B32B23/04
摘要： 在此描述一种阻挡层系统(100)，适用于使用在光电装置中。所述阻挡层系统包含：柔性基板(101)；第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)，其中第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)构造成具有对于水/氧渗透的阻挡性质。此外，所述阻挡层系统包含设置在第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的聚合缓冲层(115)，其中聚合缓冲层(115)构造成用以增加第一阻挡层(110)和第二阻挡层(120)之间的渗透路径长度。
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公开(公告)号：CN108350571A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201580084295.8
申请日：2015-11-20
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C14/562 , C23C16/545
摘要： 本公开内容提供了一种用于在真空处理腔室中支撑柔性基板(10)的设备(100)。设备(100)包括：涂布滚筒，所述涂布滚筒可围绕旋转轴线(105)旋转，其中涂布滚筒具有支撑表面(110)，所述支撑表面(110)经构造以用于支撑柔性基板(10)，其中支撑表面(110)是关于旋转轴线(105)对称的，并且其中在垂直于旋转轴线(105)的方向上在旋转轴线(105)与支撑表面(110)的中心部分(112)之间的第一距离(120)小于在旋转轴线(105)与支撑表面(110)的周边(114、116)之间的第二距离(122)。
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公开(公告)号：CN118639209A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410739936.X
申请日：2016-06-02
申请人： 应用材料公司
摘要： 描述一种辊装置(100)，所述辊装置用于导向卷材(200)并且用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与辊装置接触的卷材(200)的温度。辊装置包含辊装置(100)的曲面(101)，用于接触卷材(200)，其中曲面(101)包含卷材导向区域(103)。辊装置进一步包含在曲面(101)中的气体出口(104)的组和气体分配系统(105)，所述气体分配系统用于选择性地提供气流至气体出口(104)的第一子组和选择性地避免气体流至气体出口(104)的第二子组。辊装置进一步包含驱动单元(110)，用于旋转曲面(101)，其中曲面(101)适用于导引卷材(200)在曲面旋转时的移动。
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公开(公告)号：CN109153254A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201680085819.X
申请日：2016-05-18
申请人： 应用材料公司
摘要： 提供一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备(100)。所述设备包括处理辊(110)；具有在处理辊(110)的轴方向中延伸的刮刀(121)的刮刀组件(120)；和经配置而用于使刮刀组件(120)朝向处理辊(110)的表面(111)移动的力传递组件(130)。力传递组件(130)包括用于施加力在刮刀组件(120)上的压力单元(131)和用于施加反力在刮刀组件(120)上的反压力单元(132)。
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公开(公告)号：CN109477203A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087568.9
申请日：2016-07-01
申请人： 应用材料公司
发明人： 托马斯·德皮施 , 斯蒂芬·海因 , 尼尔·莫里森 , 赖纳·库克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·劳伦兹 , 德克·瓦格纳 , 瓦莱里亚·梅特 , 沃尔克·哈克 , 乌韦·赫尔曼斯 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔特·文德尔穆特 , 于尔根·乌尔里奇
摘要： 描述一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，配置用于容纳存储卷筒，所述存储卷筒用于提供柔性基板；第一沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室下游并且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在第一沉积腔室(120)下游并且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室，布置在第二沉积腔室(140)下游并且被配置用于容纳缠绕卷筒，所述缠绕卷筒用于在沉积之后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板；和辊组件，配置成将柔性基板(10)沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。此外，描述一种涂布柔性基板的方法，特别是用所描述的沉积设备涂布柔性基板的方法。
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公开(公告)号：CN109219673A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201680086324.9
申请日：2016-06-02
申请人： 应用材料公司
摘要： 描述一种辊装置(100)，所述辊装置用于导向卷材(200)并且用于在真空环境下的卷材涂覆工艺中控制与辊装置接触的卷材(200)的温度。辊装置包含辊装置(100)的曲面(101)，用于接触卷材(200)，其中曲面(101)包含卷材导向区域(103)。辊装置进一步包含在曲面(101)中的气体出口(104)的组和气体分配系统(105)，所述气体分配系统用于选择性地提供气流至气体出口(104)的第一子组和选择性地避免气体流至气体出口(104)的第二子组。辊装置进一步包含驱动单元(110)，用于旋转曲面(101)，其中曲面(101)适用于导引卷材(200)在曲面旋转时的移动。
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公开(公告)号：CN110168135B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN201780082884.1
申请日：2017-01-12
申请人： 应用材料公司
发明人： 尼尔·莫里森 , 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 , 海克·兰特格雷夫 , 斯蒂芬·海因 , 托比亚斯·斯托利
摘要： 描述一种适用于在触控屏幕面板中使用的硬涂层系统(100)。硬涂层系统(100)包括柔性基板(101)及设置于柔性基板(101)上的层堆叠物(110)。层堆叠物(110)包括粘附促进层(111)及无机硬涂顶层(113)，粘附促进层设置于柔性基板(101)上。粘附促进层(111)构造成以共价键结合于柔性基板的表面，其中粘附促进层(111)在与柔性基板(101)的界面(102)处的机械性质适用于柔性基板(101)的机械性质。
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公开(公告)号：CN109153254B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201680085819.X
申请日：2016-05-18
申请人： 应用材料公司
摘要： 提供一种用于在真空中连续处理柔性基板的设备(100)。所述设备包括处理辊(110)；具有在处理辊(110)的轴方向中延伸的刮刀(121)的刮刀组件(120)；和经配置而用于使刮刀组件(120)朝向处理辊(110)的表面(111)移动的力传递组件(130)。力传递组件(130)包括用于施加力在刮刀组件(120)上的压力单元(131)和用于施加反力在刮刀组件(120)上的反压力单元(132)。
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