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公开(公告)号：CN109477203A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201680087568.9
申请日：2016-07-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·德皮施 , 斯蒂芬·海因 , 尼尔·莫里森 , 赖纳·库克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·劳伦兹 , 德克·瓦格纳 , 瓦莱里亚·梅特 , 沃尔克·哈克 , 乌韦·赫尔曼斯 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔特·文德尔穆特 , 于尔根·乌尔里奇
Abstract: 描述一种用层堆叠结构涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，配置用于容纳存储卷筒，所述存储卷筒用于提供柔性基板；第一沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室下游并且包含第一涂布滚筒(122)，所述第一涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第一组多个沉积单元(121)；第二沉积腔室(140)，布置在第一沉积腔室(120)下游并且包含第二涂布滚筒(142)，所述第二涂布滚筒被配置用于引导柔性基板经过第二组多个沉积单元(141)；第二卷筒腔室，布置在第二沉积腔室(140)下游并且被配置用于容纳缠绕卷筒，所述缠绕卷筒用于在沉积之后在此缠绕卷筒上缠绕柔性基板；和辊组件，配置成将柔性基板(10)沿部分凸形并且部分凹形的基板传送路径从第一卷筒腔室传送到第二卷筒腔室。此外，描述一种涂布柔性基板的方法，特别是用所描述的沉积设备涂布柔性基板的方法。
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公开(公告)号：CN112703271A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980057736.3
申请日：2019-08-20
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 苏布拉曼亚·P·赫尔勒 , 维森特·M·林 , 巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂 , 阿杰·茂 , 马可·莫尔 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 奈尔施·奇尔曼奥·巴古 , 维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南
IPC: C23C16/448 , C23C16/52 , C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/50 , H01M4/04
Abstract: 提供一种用于将化学前驱物直接液体注射(DLI)到处理腔室中的方法和设备。DLI系统包括液体前驱物源汽化系统，所述系统稳定并且有效地使液体汽化。在一个实施方式中，DLI系统是闭环集成系统，所述闭环集成系统将注射阀(IV)连同液体流量计(LFM)、作为加压前驱物源的安瓿组件、用于加压安瓿组件中的前驱物的惰性推进气体、用于维持目标温度状况的温度控制器、泄漏检测和到气体加热器的受控载气流量进行组合。
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公开(公告)号：CN109415804A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780009649.1
申请日：2017-06-14
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·德皮施 , 于尔根·乌尔里奇 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·海因 , 斯特凡·劳伦兹 , 沃尔特·文德尔穆特 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔克·哈克 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 尼尔·莫里森 , 乌韦·赫尔曼斯 , 德克·瓦格纳 , 赖纳·克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 瓦莱里亚·梅特
Abstract: 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒，用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。此外，描述一种用于涂覆柔性基板的方法，特别是使用所描述的沉积设备涂覆柔性基板的方法。
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公开(公告)号：CN208501092U
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201721276952.1
申请日：2017-09-30
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 托马斯·德皮施 , 于尔根·乌尔里奇 , 苏珊娜·施拉弗 , 斯特凡·海因 , 斯特凡·劳伦兹 , 沃尔特·文德尔穆特 , 比约恩·斯蒂克瑟-韦斯 , 沃尔克·哈克 , 托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔 , 尼尔·莫里森 , 乌韦·赫尔曼斯 , 德克·瓦格纳 , 赖纳·克拉 , 克里斯多夫·卡森 , 瓦莱里亚·梅特
Abstract: 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒,用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。
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