公开(公告)号：CN118160127A

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202280068857.X

申请日：2022-09-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 类维生 ,  G·K·戈帕拉克里希南·奈尔 ,  赵·K·秋静 ,  丹尼尔·斯托克 ,  托比亚斯·斯托利 ,  托马斯·德皮施 ,  简·德尔马斯 ,  肯尼斯·S·勒德福 ,  苏布拉曼亚·P·赫尔勒 ,  基兰·瓦查尼 ,  马亨德兰·奇丹巴拉姆 ,  罗兰·特拉斯尔 ,  尼尔·莫里森 ,  弗兰克·施纳朋伯杰 ,  凯文·劳顿·坎宁安 ,  斯蒂芬·班格特 ,  詹姆斯·库辛 ,  维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南

IPC: H01M10/058 ,  H01M10/052 ,  B23K26/36 ,  B23K26/352

Abstract: 提供用于借由具有宽工艺窗、高效率及低成本的激光源来处理锂电池的方法及设备。激光源被调适以实现皮秒脉冲的高平均功率及高频率。激光源可在固定位置或以扫描模式产生线形光束。系统可在干燥室或真空环境中操作。系统可包括对处理位点的碎屑移除机制(例如，惰性气体流)以移除在图案化工艺期间产生的碎屑。