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公开(公告)号：CN112534343B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201980050092.5
申请日：2019-06-13
Applicant: 应用材料公司
IPC: G02F1/13 , G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本公开内容一般涉及一种用于装载、处理、及卸载基板的方法及设备。一种处理系统包括耦接至光刻系统的装载/卸载系统。此装载/卸载系统包括具有第一高度及第一宽度的第一组轨道以及具有第二高度及第二宽度的第二组轨道，第二高度不同于第一高度，第二宽度不同于第一宽度。未处理的基板在第一托盘上沿着第一组轨道从升降销装载器传送至夹持件，同时已处理的基板在第二托盘上沿着第二组轨道从夹持件传送至升降销装载器。当在处理期间第一托盘在夹持件上维持有基板时，装载/卸载系统经构造以在第二托盘上卸载已处理的基板并装载未处理的
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公开(公告)号：CN116802565A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202280012979.7
申请日：2022-02-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿萨夫·基德龙 , 施佳炜 , 陈亮瑜 , 张哲恺 , 杨子慧 , 尼姆罗德·史密斯 , 格兰特·王 , 普雷斯顿·冯 , 瓦苏曼·加纳帕蒂·斯里兰卡 , 大卫·卡利 , 鲁道夫·布鲁纳
IPC: G03F7/20
Abstract: 本揭露案的实施方式涉及投射稳定系统和具有投射稳定系统的无掩模光刻系统。投射稳定系统补偿移动图像投射系统(IPS)的传播振动。在无掩模光刻工艺操作之前，IPS处于处理位置。一或多个加强件耦接至IPS。一或多个加强件向耦接至每个加强件的挠曲件施加压力。挠曲件耦接至IPS，以在无掩模光刻工艺的操作期间向IPS提供稳定化。例如，一或多个加强件保护IPS免受在操作期间传播穿过系统的振动。
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公开(公告)号：CN118119893A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202280037478.4
申请日：2021-07-13
Applicant: 应用材料公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、以及用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的夹板。夹板包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括加强梁，所述加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、以及设置在第三对夹板上的第三加强梁。
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公开(公告)号：CN112534343A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050092.5
申请日：2019-06-13
Applicant: 应用材料公司
IPC: G02F1/13 , G03F7/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本公开内容一般涉及一种用于装载、处理、及卸载基板的方法及设备。一种处理系统包括耦接至光刻系统的装载/卸载系统。此装载/卸载系统包括具有第一高度及第一宽度的第一组轨道以及具有第二高度及第二宽度的第二组轨道，第二高度不同于第一高度，第二宽度不同于第一宽度。未处理的基板在第一托盘上沿着第一组轨道从升降销装载器传送至夹持件，同时已处理的基板在第二托盘上沿着第二组轨道从夹持件传送至升降销装载器。当在处理期间第一托盘在夹持件上维持有基板时，装载/卸载系统经构造以在第二托盘上卸载已处理的基板并装载未处理的基板。
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