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公开(公告)号：CN118119893A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202280037478.4
申请日：2021-07-13
Applicant: 应用材料公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、以及用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的夹板。夹板包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括加强梁，所述加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、以及设置在第三对夹板上的第三加强梁。
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