公开(公告)号：CN118119893A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202280037478.4

申请日：2021-07-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 本杰明·M·约翰逊 ,  柳在明 ,  瓦苏曼·加纳帕蒂·斯里兰卡 ,  普雷斯顿·冯 ,  大卫·科里沃 ,  李卓 ,  豪尔赫·阿雷利亚诺

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种网桥加固构件组件包括第一加固构件板和第二加固构件板、以及用于将第一加固构件板和第二加固构件板固定至数字光刻系统的网桥结构的夹板。夹板包括设置在第一加固构件板的第一端上的第一对夹板、设置在第一加固构件板的第二端和第二加固构件板的第一端上的第二对夹板、以及设置在第二加固构件板的第二端上的第三对夹板。网桥加固构件组件进一步包括加强梁，所述加强梁包括设置在第一对夹板上的第一加强梁、设置在第二对夹板上的第二加强梁、以及设置在第三对夹板上的第三加强梁。

公开(公告)号：CN116802565A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202280012979.7

申请日：2022-02-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿萨夫·基德龙 ,  施佳炜 ,  陈亮瑜 ,  张哲恺 ,  杨子慧 ,  尼姆罗德·史密斯 ,  格兰特·王 ,  普雷斯顿·冯 ,  瓦苏曼·加纳帕蒂·斯里兰卡 ,  大卫·卡利 ,  鲁道夫·布鲁纳

IPC: G03F7/20

Abstract: 本揭露案的实施方式涉及投射稳定系统和具有投射稳定系统的无掩模光刻系统。投射稳定系统补偿移动图像投射系统(IPS)的传播振动。在无掩模光刻工艺操作之前，IPS处于处理位置。一或多个加强件耦接至IPS。一或多个加强件向耦接至每个加强件的挠曲件施加压力。挠曲件耦接至IPS，以在无掩模光刻工艺的操作期间向IPS提供稳定化。例如，一或多个加强件保护IPS免受在操作期间传播穿过系统的振动。