压电元件及压电元件的制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117084003A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202280024500.1

    申请日:2022-03-10

    IPC分类号: H10N30/853

    摘要: 在压电元件(1)及压电元件的制造方法中,在不降低压电特性的情况下实现高耐压及驱动稳定性。一种压电元件,其在基板(11)上依次具备下部电极层(12)、以钙钛矿型氧化物为主成分的压电膜(15)及上部电极层(18),其中,上部电极层包含氧化物导电层,在压电膜与氧化物导电层(18a)之间,具备包含氧化物导电层的构成元素和OH基的界面层(16),界面层具有非晶态结构且厚度为1nm以上且5nm以下,在通过X射线光电子能谱测定而获得的界面层中的结合能的强度分布中,将源自与金属键合的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为α,将源自构成OH基的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为γ时的峰值强度比γ/α为0.35以上。

    压电元件及致动器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117812990A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311206754.8

    申请日:2023-09-18

    摘要: 提供压电元件及致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极将一个压电膜的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcf+、负侧的矫顽电压设为Vcf‑、两者之差的绝对值|Vcf+‑Vcf‑|设为ΔVcf、2个矫顽电压Vcf+的绝对值及Vcf‑的绝对值中较大的一方设为Vcf,将另一个压电膜的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcr+、负侧的矫顽电压设为Vcr‑、两者之差的绝对值|Vcr+‑Vcr‑|设为ΔVcr、矫顽电压Vcr+的绝对值及矫顽电压Vcr‑的绝对值中较大的一方设为Vcr时,满足ΔVcr<ΔVcf‑0.2且Vcr<Vcf‑0.2。

    压电元件及致动器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117812988A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311236583.3

    申请日:2023-09-22

    IPC分类号: H10N30/20 H10N30/87

    摘要: 本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极,第1压电膜及第2压电膜均以添加了金属元素M的PZT作为主成分,第1压电膜和第2压电膜中的一个压电膜具有在膜厚方向上一致的自发极化,将表示其中一个压电膜的极化‑电压特性的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcf+、负侧的矫顽电压设为Vcf‑,将另一个压电膜的极化‑电压特性中的、正侧的矫顽电压设为Vcr+、负侧的矫顽电压设为Vcr‑时,满足|Vcr++Vcr‑|<|Vcf++Vcf‑|‑0.2。

    压电层叠体、压电元件及压电层叠体的制造方法

    公开(公告)号:CN116113307A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202211380382.6

    申请日:2022-11-04

    摘要: 本发明涉及压电层叠体、压电元件及压电层叠体的制造方法。本发明获得一种提高压电特性及驱动稳定性的压电层叠体及压电元件。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层、及以钙钛矿型氧化物为主要成分的压电膜。压电膜在与下部电极层接触的区域具有氧缺损区域,将在沿厚度方向将压电膜三等分的3个区域中位于中央的区域中的氧含量的平均值设为第1平均氧含量,将氧缺损区域中的氧含量的平均值设为第2平均氧含量的情况下,第2平均氧含量与第1平均氧含量之比R小于0.97,氧缺损区域的厚度为120nm以上,且为整个压电膜的厚度的1/3以下。

    人工光合作用模块及人工光合作用装置

    公开(公告)号:CN109415824A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780038929.5

    申请日:2017-06-19

    摘要: 本发明提供一种能量转换效率优异的人工光合作用模块及人工光合作用装置。人工光合作用模块具有:第1电极,通过光分解原料流体而获得第1流体;及第2电极,通过光分解原料流体而获得第2流体;及隔膜,设置于第1电极与第2电极之间,该人工光合作用模块中,隔膜由具有贯穿孔的膜构成,且经1分钟浸渍于温度为25℃的纯水中,在浸渍于纯水中的状态下,波长为380nm~780nm的波长区域的透光率为60%以上,隔膜的贯穿孔的平均孔径超过0.1μm且小于50μm。人工光合作用装置具有上述人工光合作用模块。

    压电元件及致动器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117812987A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311167320.1

    申请日:2023-09-11

    摘要: 本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极,第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分,M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素,第1压电膜中的M组成比与第2压电膜中的M组成比不同,使第1电极与第1压电膜接地且将第2电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后和使第2电极与第2压电膜接地且将第3电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。

    压电层叠体及压电元件
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115884658A

    公开(公告)日:2023-03-31

    申请号:CN202211009262.5

    申请日:2022-08-22

    摘要: 本申请涉及压电层叠体及压电元件。本发明的目的在于提供一种与以往相比无需降低压电特性便可提高长期可靠性的压电层叠体及压电元件。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层、及包含钙钛矿型氧化物的压电膜。下部电极层包括:第2层,以与压电膜相接的状态配置;及第1层,比第2层更靠基板侧配置,第1层包含W、Mo、Nb及Ta中的一种以上作为主成分,第2层以Ir为主成分且第2层的厚度为50nm以下。