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公开(公告)号：CN117812987A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311167320.1
申请日：2023-09-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，第1压电膜中的M组成比与第2压电膜中的M组成比不同，使第1电极与第1压电膜接地且将第2电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后和使第2电极与第2压电膜接地且将第3电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117812989A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311138869.8
申请日：2023-09-05
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H10N30/50 , H10N30/00 , H10N30/853 , H10N30/045 , H10N30/20
Abstract: 本发明涉及压电元件及致动器，课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，第1压电膜和第2压电膜所包含的钙钛矿型氧化物中的Pb组成比不同，使第1电极接地、将第2电极作为驱动电极对第1压电膜测定的极化‑电场滞后和使第2电极接地、将第3电极作为驱动电极对第2压电膜测定的极化‑电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。
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公开(公告)号：CN117812990A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311206754.8
申请日：2023-09-18
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H10N30/80 , H10N30/50 , H10N30/20 , H10N30/853
Abstract: 提供压电元件及致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极将一个压电膜的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcf+、负侧的矫顽电压设为Vcf‑、两者之差的绝对值|Vcf+‑Vcf‑|设为ΔVcf、2个矫顽电压Vcf+的绝对值及Vcf‑的绝对值中较大的一方设为Vcf，将另一个压电膜的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcr+、负侧的矫顽电压设为Vcr‑、两者之差的绝对值|Vcr+‑Vcr‑|设为ΔVcr、矫顽电压Vcr+的绝对值及矫顽电压Vcr‑的绝对值中较大的一方设为Vcr时，满足ΔVcr＜ΔVcf‑0.2且Vcr＜Vcf‑0.2。
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公开(公告)号：CN117812988A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311236583.3
申请日：2023-09-22
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以添加了金属元素M的PZT作为主成分，第1压电膜和第2压电膜中的一个压电膜具有在膜厚方向上一致的自发极化，将表示其中一个压电膜的极化‑电压特性的滞后曲线中的、正侧的矫顽电压设为Vcf+、负侧的矫顽电压设为Vcf‑，将另一个压电膜的极化‑电压特性中的、正侧的矫顽电压设为Vcr+、负侧的矫顽电压设为Vcr‑时，满足|Vcr++Vcr‑|＜|Vcf++Vcf‑|‑0.2。
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公开(公告)号：CN103026520B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180036752.8
申请日：2011-07-22
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L41/33 , H01L41/332
CPC classification number: H01L41/332 , B41J2/14233 , B41J2/1607 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/098 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/33
Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。
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公开(公告)号：CN103026520A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180036752.8
申请日：2011-07-22
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L41/33 , H01L41/332
CPC classification number: H01L41/332 , B41J2/14233 , B41J2/1607 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/098 , H01L41/22 , H01L41/316 , H01L41/33
Abstract: 公开了一种用于形成具有弯曲压电膜的致动器的方法。所述方法使用具有被平坦表面包围的弯曲表面的轮廓转移基板形成弯曲压电膜。在从弯曲压电膜的下侧移除轮廓转移基板之前，用于压电致动器的压电材料至少沉积在轮廓转移基板的弯曲表面上。产生的弯曲压电膜包括为柱状并对准的粒状结构，并且所有或基本上所有柱状晶粒局部垂直于压电膜的弯曲表面。
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