在压电元件(1)及压电元件的制造方法中，在不降低压电特性的情况下实现高耐压及驱动稳定性。一种压电元件，其在基板(11)上依次具备下部电极层(12)、以钙钛矿型氧化物为主成分的压电膜(15)及上部电极层(18)，其中，上部电极层包含氧化物导电层，在压电膜与氧化物导电层(18a)之间，具备包含氧化物导电层的构成元素和OH基的界面层(16)，界面层具有非晶态结构且厚度为1nm以上且5nm以下，在通过X射线光电子能谱测定而获得的界面层中的结合能的强度分布中，将源自与金属键合的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为α，将源自构成OH基的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为γ时的峰值强度比γ/α为0.35以上。