一种基于电磁扫描微镜的电磁驱动系统及方法

    公开(公告)号:CN119414591A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411498890.3

    申请日:2024-10-25

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明涉及微机电技术领域,公开了一种基于电磁扫描微镜的电磁驱动系统及方法,该系统包括扫描微镜和永磁体,所述扫描微镜设于永磁体上方,所述扫描微镜包括同轴设置的内框架和外框架,所述内框架的内部同轴设有镜子、底部设有若干圈线圈,所述外框架与内框架之间、内框架与镜子之间均转动连接,所述永磁体包括同轴设置的外环形磁体和内圆柱体磁体,所述外环形磁体和内圆柱体磁体的相邻侧面之间的极性相反设置,以使外环形磁体和内圆柱体磁体之间形成从N极到S极方向的磁场。本发明通过在外环形磁体的基础上添加内圆柱体磁体,减小了磁体之间的距离,进而增加了磁场的强度,提高了扫描微镜的偏转角度。

    一种三维体声波谐振器电路电-力-热耦合特性分析方法

    公开(公告)号:CN117634418B

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202311686398.4

    申请日:2023-12-11

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法,涉及微电子技术领域,该方法包括:建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型,并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分,得到划分的元胞结构;构建电‑力‑热耦合方程,电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程,力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的;利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解,得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼,对力学运动方程和压电本构方程进行细化,建立了三维立体网格,结合FDTD算法,实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。

    一种三维体声波谐振器电路电-力-热耦合特性分析方法

    公开(公告)号:CN117634418A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311686398.4

    申请日:2023-12-11

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法,涉及微电子技术领域,该方法包括:建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型,并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分,得到划分的元胞结构;构建电‑力‑热耦合方程,电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程,力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的;利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解,得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼,对力学运动方程和压电本构方程进行细化,建立了三维立体网格,结合FDTD算法,实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。

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