公开(公告)号：CN117634418B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN202311686398.4

申请日：2023-12-11

Applicant: 安徽大学

Inventor： 陈士涛 ,  葛晗 ,  殷秋鹏 ,  李迎松 ,  黄志祥

IPC: G06F30/398 ,  G06T17/20 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。

公开(公告)号：CN117634418A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311686398.4

申请日：2023-12-11

Applicant: 安徽大学

Inventor： 陈士涛 ,  葛晗 ,  殷秋鹏 ,  李迎松 ,  黄志祥

IPC: G06F30/398 ,  G06T17/20 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种三维体声波谐振器电路电‑力‑热耦合特性分析方法，涉及微电子技术领域，该方法包括：建立三维薄膜体声波谐振器的几何模型，并对几何模型进行参数设置,设置几何模型的边界条件并进行六面体网格剖分，得到划分的元胞结构；构建电‑力‑热耦合方程，电‑力‑热耦合方程包括压电本构方程、静电场方程、力学运动方程、传热方程，力学运动方程为考虑阻尼项更新原运动方程得到的；利用FDTD算法对电‑力‑热耦合方程进行求解，得到电‑力‑热耦合方程中的各项物理参数。本发明考虑压电材料的机械阻尼，对力学运动方程和压电本构方程进行细化，建立了三维立体网格，结合FDTD算法，实现了三维体声波谐振器电‑力‑热耦合特性的高效分析。