测定头以及具备该测定头的偏心测定装置

    公开(公告)号:CN107429994A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201580077539.X

    申请日:2015-03-27

    Abstract: 测定头(1)具有光源部(3)、第一摄像元件(4)、第二摄像元件(5)、物镜光学系统(6)、光路分割元件(7)、公共光路(OPC)、第一光路(OP1)、第二光路(OP2),公共光路(OPC)从光路分割元件(7)朝向物镜光学系统(6)形成,第一光路(OP1)从光路分割元件(7)朝向第一摄像元件(4)形成,第二光路(OP2)从光路分割元件(7)朝向第二摄像元件(5)形成,以隔着光路分割元件(7)的方式,公共光路(OPC)位于一侧,第一光路(OP1)和第二光路(OP2)位于另一侧,光路分割元件(7)配置在第一光路(OP1)和第二光路(OP2)交叉的位置上,光源部(3)和第一摄像元件(4)一起配置在规定位置上,第二摄像元件(5)配置在与规定位置不同的位置上,规定位置是物镜光学系统(6)的焦点位置或与物镜光学系统(6)的焦点位置共轭的位置。

    镜头评价装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1967185A

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200610138442.8

    申请日:2006-11-14

    CPC classification number: G01M11/0264

    Abstract: 本发明提供一种镜头评价装置,该装置具有:配置在平面上的多个点光源;拍摄像并取得图像的摄像部;使上述点光源或者上述摄像部和成为评价对象的光学系统之间的相对距离变化的移动部;对每当上述移动部使上述相对距离变化时上述摄像部拍摄通过上述光学系统的上述多个点光源的像而取得的层叠图像进行记录的记录介质;从上述记录介质所记录的上述层叠图像内的多个点光源像中算出多个像位置的像位置算出部;以及将像差的模型函数拟合于由上述像位置算出部所算出的上述多个像位置以取得像差的测量值的像差取得部。

    镜头评价装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1967185B

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN200610138442.8

    申请日:2006-11-14

    CPC classification number: G01M11/0264

    Abstract: 本发明提供一种镜头评价装置,该装置具有:配置在平面上的多个点光源;拍摄像并取得图像的摄像部;使上述点光源或者上述摄像部和成为评价对象的光学系统之间的相对距离变化的移动部;对每当上述移动部使上述相对距离变化时上述摄像部拍摄通过上述光学系统的上述多个点光源的像而取得的层叠图像进行记录的记录介质;从上述记录介质所记录的上述层叠图像内的多个点光源像中算出多个像位置的像位置算出部;以及将像差的模型函数拟合于由上述像位置算出部所算出的上述多个像位置以取得像差的测量值的像差取得部。

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