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公开(公告)号：CN102538715A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110448226.4
申请日：2011-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法，涉及一种双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪直线度的探测灵敏度较低的问题。双频激光经λ/4波片透射再经分束镜分束为两束双频入射光，其中一束经全反镜和减偏器透射后获得双频参考光并入射至光电探测器的探测面上；另一束入射经渥拉斯顿棱镜分束为线偏振光和线偏振光，并分别入射至带有慢光材料双面反射镜中的两个反射镜，原路反射后经渥拉斯顿棱镜合并获得双频反射光，再经分束镜、全反镜、减偏器透射后入射至光电探测器的探测面，并在与双频参考光会聚并产生拍频，光电探测器探测所述拍频。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。
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公开(公告)号：CN102564354A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110448242.3
申请日：2011-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于慢光材料的双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法，涉及一种双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪的角度测量装置的角度探测灵敏度较低的问题。双频激光经偏振分光镜按偏振方向分为频率为的偏振光和频率为的偏振光，频率为的偏振光入射至一号角锥棱镜，并经一号角锥棱镜反射回偏振分光镜；频率为的偏振光经普通角反射镜、慢光材料、二号角锥棱镜反射回慢光材料，经慢光材料和普通角反射镜反射至偏振分光镜，并与经一号角锥棱镜反射回来的偏振光在偏振分光镜处会聚，形成拍频，会聚光经减偏器透射后入射至光电探测器的光探测面。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。
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公开(公告)号：CN102519975B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110439382.4
申请日：2011-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统，属于光学领域，本发明为解决目前国内对于光学元件损伤采用的检测方式大多为离线检测，难以满足检测要求的问题。本发明所述用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统，它包括前镜组、后镜组和CCD，前镜组的光轴、后镜组的光轴和CCD的光接收面的中心法线重合，前镜组由3块透镜组成，后镜组由3块胶合透镜组成，后镜组能够沿其光轴前后移动，CCD能够沿光轴前后移动，前镜组将入射光透射后出射至后镜组，后镜组的透射光入射至CCD的光接收面。
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公开(公告)号：CN102519975A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110439382.4
申请日：2011-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统，属于光学领域，本发明为解决目前国内对于光学元件损伤采用的检测方式大多为离线检测，难以满足检测要求的问题。本发明所述用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统，它包括前镜组、后镜组和CCD，前镜组的光轴、后镜组的光轴和CCD的光接收面的中心法线重合，前镜组由3块透镜组成，后镜组由3块胶合透镜组成，后镜组能够沿其光轴前后移动，CCD能够沿光轴前后移动，前镜组将入射光透射后出射至后镜组，后镜组的透射光入射至CCD的光接收面。
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公开(公告)号：CN102519358B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110442478.6
申请日：2011-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法，属于空间物体三维形貌的光学检测技术领域。它解决了传统对微小球面的检测手段存在的单次测量检测范围小及参考面理想球面制造困难的问题。本发明装置包括短相干激光器、二分之一波片、起偏器、第一四分之一波片、第二四分之一波片、直角延迟棱镜、偏振分光镜、检偏器、光纤耦合器、单模单芯光纤、直角移相棱镜、汇聚透镜、针孔片、刀口反射镜、显微物镜、大尺寸CCD和计算机；本发明方法通过上述装置形成的光路，调节被测微小球进行旋转，获得相应的微小球形貌参数，实现微小球面的形貌检测。本发明适用于微小球面三维形貌的检测。
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公开(公告)号：CN102519358A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110442478.6
申请日：2011-12-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法，属于空间物体三维形貌的光学检测技术领域。它解决了传统对微小球面的检测手段存在的单次测量检测范围小及参考面理想球面制造困难的问题。本发明装置包括短相干激光器、二分之一波片、起偏器、第一四分之一波片、第二四分之一波片、直角延迟棱镜、偏振分光镜、检偏器、光纤耦合器、单模单芯光纤、直角移相棱镜、汇聚透镜、针孔片、刀口反射镜、显微物镜、大尺寸CCD和计算机；本发明方法通过上述装置形成的光路，调节被测微小球进行旋转，获得相应的微小球形貌参数，实现微小球面的形貌检测。本发明适用于微小球面三维形貌的检测。
