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公开(公告)号:CN103389310B
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201310328928.8
申请日:2013-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种基于辐射标定的亚像素光学元件损伤在线检测方法,本发明涉及光学元件在线检测领域,尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决现有在线检测方法不能得到在线检测图像中损伤的高精度尺寸的问题。一、建立样本集;二、估算样品集非离群点概率ε;三、从样本集D中随机抽取M组小样本;四、通过交叉验证法建立一系列LSSVM回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};五、通过样本集D,选取合适的误差评价函数Z(x)逐一验证回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};六、得到全部损伤区域的高精度亚像素尺寸。本发明应用于光学元件在线检测领域。
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公开(公告)号:CN102519975B
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201110439382.4
申请日:2011-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,属于光学领域,本发明为解决目前国内对于光学元件损伤采用的检测方式大多为离线检测,难以满足检测要求的问题。本发明所述用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,它包括前镜组、后镜组和CCD,前镜组的光轴、后镜组的光轴和CCD的光接收面的中心法线重合,前镜组由3块透镜组成,后镜组由3块胶合透镜组成,后镜组能够沿其光轴前后移动,CCD能够沿光轴前后移动,前镜组将入射光透射后出射至后镜组,后镜组的透射光入射至CCD的光接收面。
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公开(公告)号:CN102519975A
公开(公告)日:2012-06-27
申请号:CN201110439382.4
申请日:2011-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,属于光学领域,本发明为解决目前国内对于光学元件损伤采用的检测方式大多为离线检测,难以满足检测要求的问题。本发明所述用于在线检测光学元件损伤的变焦距光学系统,它包括前镜组、后镜组和CCD,前镜组的光轴、后镜组的光轴和CCD的光接收面的中心法线重合,前镜组由3块透镜组成,后镜组由3块胶合透镜组成,后镜组能够沿其光轴前后移动,CCD能够沿光轴前后移动,前镜组将入射光透射后出射至后镜组,后镜组的透射光入射至CCD的光接收面。
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公开(公告)号:CN103344176B
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201310316913.X
申请日:2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于球面形貌特征检测的倍程式短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测技术领域。解决了传统时域移相干涉测量装置检测范围小、测量精度低和受环境因素影响的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、光纤耦合镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、单模光纤、光纤准直镜、直角反射镜、角锥棱镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、第一平行分束镜、第二平行分束镜、波片组、偏振片、面阵CCD和计算机,通过计算机通过面阵CCD四幅干涉图样获得四幅干涉图像间的定位关系,从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差,进而求出光程差,实现球面形貌测量。本发明适用于球面形貌特征检测。
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公开(公告)号:CN103344198B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201310316915.9
申请日:2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机,通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样,计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系,从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差,进而求出光程差,实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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公开(公告)号:CN103344198A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310316915.9
申请日:2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机,通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样,计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系,从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差,进而求出光程差,实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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公开(公告)号:CN103389310A
公开(公告)日:2013-11-13
申请号:CN201310328928.8
申请日:2013-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种基于辐射标定的亚像素光学元件损伤在线检测方法,本发明涉及光学元件在线检测领域,尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决现有在线检测方法不能得到在线检测图像中损伤的高精度尺寸的问题。一、建立样本集;二、估算样品集非离群点概率ε;三、从样本集D中随机抽取M组小样本;四、通过交叉验证法建立一系列LSSVM回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};五、通过样本集D,选取合适的误差评价函数Z(x)逐一验证回归模型{f(W1),...,f(Wm),...,f(WM)};六、得到全部损伤区域的高精度亚像素尺寸。本发明应用于光学元件在线检测领域。
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公开(公告)号:CN103345635A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310328930.5
申请日:2013-07-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06K9/46
Abstract: 一种基于局部信号强度及改进二维直方图的光学元件损伤在线检测方法,本发明涉及光学元件在线检测领域,尤其涉及大型光学系统大口径光学元件快速在线检测的方法。本发明是要解决传统分割算法很容易漏检的问题。一、背景图像I(x,y)back的获得;二、局部信号强度比图像M(x,y)的获得;三、将图像I(x,y)归一化为L1级,将局部信号强度比图像M(x,y)归一化为L2级,生成改进二维直方图;四、截取局部二维直方图Q,计算图像I(x,y)的平均灰度;五、将二维峰值剔除问题转化为一维峰值剔除问题;六、一维峰值剔除;七、二维直方图单峰剔除;八、最终损伤区域提取。本发明应用于光学元件在线检测领域。
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公开(公告)号:CN103344176A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310316913.X
申请日:2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于球面形貌特征检测的倍程式短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法,涉及光学检测技术领域。解决了传统时域移相干涉测量装置检测范围小、测量精度低和受环境因素影响的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、光纤耦合镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、单模光纤、光纤准直镜、直角反射镜、角锥棱镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、第一平行分束镜、第二平行分束镜、波片组、偏振片、面阵CCD和计算机,通过计算机通过面阵CCD四幅干涉图样获得四幅干涉图像间的定位关系,从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差,进而求出光程差,实现球面形貌测量。本发明适用于球面形貌特征检测。
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公开(公告)号:CN102565070B
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201110435830.3
申请日:2011-12-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 多自由度光学元件损伤在线检测装置,属于光学领域,本发明为解决在靶室内不能快速的实现对多路光学元件的损伤在线检测的问题。本发明包括光学成像平台、俯仰角调整机构、翻转机构、环转机构、减速箱和六自由度机械手,光学成像平台的光轴、俯仰角调整中心轴线、环转机构中心轴线和翻转机构旋转中心轴线在空间上相交于中心点o,所述中心点o与被测靶室球中心重合;实现多自由度光学元件损伤在线检测装置在纬度、经度及上下方向的对被测靶室中光学元件的扫描,扫描获取的光学元件图像发送给计算机进行损伤在线检测。
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