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公开(公告)号：CN119480333A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411662234.2
申请日：2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种抗磁场畸变的Halbach永磁阵列及光刻装置，属于光刻机技术与超精密测量技术领域，解决了光刻机运动台系统精度低和稳定性差的问题，Halbach永磁阵列包括：若干个阵列单元；每个阵列单元包括两个N级磁钢、两个S级磁钢、16个柔性充磁的六棱柱磁钢、24个六棱柱磁钢和12个长方体磁钢。本发明通过优化设计拓扑结构，采用新型柔性充磁方法，大幅修正现有磁钢阵列的谐波分量畸变、周期性扭曲畸变和峰值波动畸变，使得三种畸变情况都远优于现有磁钢阵列，且周期性畸变几乎完全消除，非扫描方向波动畸变分散程度大幅减小，总谐波畸变率最大可修正至优化前五分之一。
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公开(公告)号：CN119382377A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411492597.6
申请日：2024-10-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于扁平线圈的平面电机动子，具体属于集成电路制造的平面电机技术领域；通过提高线圈槽满率的方式可以提升出力性能的同时，而由于线圈的散热主要通过传导散热，而采用扁平线，也保证线圈的散热能力；并且扁平线圈降低了线圈的电感，对提升设备的响应性能有着重要意义。本发明包括动子框架壳体和扁平线圈模块，还包括磁铁和水冷组件；动子框架壳体内侧开设有水冷管放置槽与线圈组放置槽，水冷管放置槽与线圈组放置槽交错设置有两组，水冷管放置槽内设置有水冷组件，线圈组放置槽内设置有扁平线圈模块，动子框架壳体固定设置在磁铁顶面；扁平线圈模块设置有四组，每组扁平线圈模块由三个扁平线圈构成。
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公开(公告)号：CN118589905A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410696652.7
申请日：2024-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种准零刚度的自动隔振磁悬浮平面电机动子，本发明涉及一种电机动子，本发明为解决磁悬浮平面电机动子在垂向的振动问题，本发明包括动子框架、嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块；所述嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块由上至下安装在动子框架内，且嵌入PCB线圈模块和移动绕组线圈模块之间设有间隙。所述移动绕组线圈模块为四组，每组绕组线圈模块的上部设有一个嵌入PCB线圈模块。本发明针对磁悬浮运动系统，从结构上实现了准刚度自动隔振效果，具有一定的应用潜力。本发明属于隔振技术领域。
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公开(公告)号：CN116882077B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310692472.7
申请日：2023-06-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F119/14 , G06F111/10
Abstract: 本发明提出一种激振台振动信号的产生方法，激振台激振信号的产生方法包括以下步骤：在仿真软件中生成激振台的振动信号，建立本发明中激振台动力学模型，推导出激振台电机出力到激振台振动速度的传递函数，通过仿真软件仿真得到电机出力的最大值和有效值，根据电机出力进行电机选型和安装位置布局。该方法低成本，简单易用，产生的激振信号保真性好。
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公开(公告)号：CN116930554A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310841556.2
申请日：2023-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法，系统包括激光测振仪、振动实验台、激励信号源、电机驱动器、数据采集卡以及上位机。振动实验台的致动器由音圈电机和压电陶瓷组成。致动器由激励信号源控制，受电机驱动器驱动出力推动负载平台振动。负载平台两端与气浮导轨相连，气浮导轨受气源供气，使负载平台能保持在竖直方向上无摩擦的单自由度振动。将速度传感器与负载平台连接，其输出接数据采集卡上并传回上位机。激光测振仪对负载平台进行测量，并作为标定基准与速度传感器测量结果进行比对。该系统将经过标定满足使用要求的传感器用于主动隔振器反馈环节，可极大增强隔振器的隔振效果，使隔振器能有效隔离外界微振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116930554B
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202310841556.2
申请日：2023-07-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法，系统包括激光测振仪、振动实验台、激励信号源、电机驱动器、数据采集卡以及上位机。振动实验台的致动器由音圈电机和压电陶瓷组成。致动器由激励信号源控制，受电机驱动器驱动出力推动负载平台振动。负载平台两端与气浮导轨相连，气浮导轨受气源供气，使负载平台能保持在竖直方向上无摩擦的单自由度振动。将速度传感器与负载平台连接，其输出接数据采集卡上并传回上位机。激光测振仪对负载平台进行测量，并作为标定基准与速度传感器测量结果进行比对。该系统将经过标定满足使用要求的传感器用于主动隔振器反馈环节，可极大增强隔振器的隔振效果，使隔振器能有效隔离外界微振动。
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公开(公告)号：CN118348784A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410382981.4
申请日：2024-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明提出一种基于鲁棒控制理论的半主动隔振系统控制器设计方法。所述方法包括以下步骤：建立半主动隔振系统的动力学模型；推导出隔振系统的动力学表达式；根据动力学表达式对半主动隔振系统进行特性分析，找到半主动隔振系统的共振频率与反共振频率；根据系统的共振频率并基于鲁棒控制理论设计隔振系统的控制器。本发明设计的控制器一方面方法抑制在两个共振频率和附近的振动，另一方面增加一个新的反共振频率，该频率可以通过跟踪外部扰动实时调整，从而改善半主动隔振系统的控制性能，该方法低成本，简单易用，有效提升半主动隔振系统的隔振性能。
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公开(公告)号：CN117970972A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311312898.1
申请日：2023-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明提出一种超低频隔振系统的最优控制器设计方法，所述方法包括以下步骤：建立本发明中超低频隔振系统动力学模型，推导出超低频隔振系统的状态空间方程；根据最优二次型算法的目标函数和隔振系统的控制目标分配权重矩阵Q，R；根据权重矩阵Q，R并结合隔振系统的状态空间方程推导出最优控制器的控制力模型，将控制力代入到控制回路中得到完整的最优控制器并通过优化Q，R矩阵的权重分配以获得更优的控制效果。从而改善超低频隔振系统的主动控制性能，该方法低成本，简单易用，有效提升超低频隔振系统的隔振性能。
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公开(公告)号：CN116738609B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202310652731.3
申请日：2023-06-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F30/17 , G06F30/23 , G06F111/04 , G06F119/14
Abstract: 本发明提出一种大型激振平台的支撑结构设计方法，本发明通过框架尺寸设计匹配激振平台尺寸、选材以保证结构的刚度、有限元仿真验证支撑结构的固有频率和应力变形、框架结构分解以方便加工运输和组装、优化结构参数以提高结构的稳定性和刚度。采用本发明提出方法设计的支撑结构稳定性强、结构简明、固有频率高、安装简单，采用焊接以及螺纹连接的方式组装，并在重要部位采用加固板进行加固，保证了结构的刚度和强度。
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公开(公告)号：CN117666340A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311605085.1
申请日：2023-11-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明提出一种主动隔振系统的数据驱动前馈控制设计方法，所述方法包括以下步骤：建立本发明中主动隔振系统的表达式；将前馈控制器进行参数化表示；选择一定的成本函数，将前馈控制器设计问题转换为参数优化问题；采用一种基于高斯‑牛顿算法的参数迭代方法来解决该参数优化问题，然后收集被控对象的I/O数据并进一步处理以计算控制器参数。本发明所述方法不需要精确的被控对象模型，避免了因为模型建立不准确导致前馈系统控制效果较差的问题，从而改善主动隔振系统的控制性能，该方法低成本，简单易用，有效提升主动隔振系统的隔振性能。
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