一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置

    公开(公告)号:CN118980860A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411168206.5

    申请日:2024-08-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置,涉及跃迁频率测量领域,装置包括,连续可调谐激光器,原子炉,铬原子束,光学频率梳,倍频光路,保偏光纤分束器,保偏光纤合束器,拍频检测光路,光电接收器以及频率计数器;连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接;光学频率梳的输出端与倍频光路连接;倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接;铬原子束经原子炉喷发与保偏光纤分束器的第二输出端发生作用;保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接;拍频检测光路的输出端通过光电接收器与频率计数器的输入端连接。本方法填补了蓝紫光波段波长基准的空白。

    一种原子能级跃迁波长与硅晶面间距的比对测量方法

    公开(公告)号:CN118914596A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410993767.2

    申请日:2024-07-24

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种原子能级跃迁波长与硅晶面间距的比对测量方法,属于纳米计量溯源技术领域,包括如下步骤:S1、采用原子光刻技术制备掩膜光栅;S2、利用软X射线干涉光刻技术制备得到硅光栅;S3、基于原子能级跃迁波长计算硅光栅的理论周期值;S4、基于硅光栅的TEM图像,以硅晶面间距为基准标尺测量硅光栅的实际周期值;S5、通过比较硅光栅的理论周期值与实际周期值给出两种溯源传递方式的一致性评价。本发明采用上述的一种原子能级跃迁波长与硅晶面间距的比对测量方法,实现了原子能级跃迁波长与硅晶面间距的比对,比较了两种长度溯源链的准确性和一致性。

    一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪

    公开(公告)号:CN119126248A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411284562.3

    申请日:2024-09-13

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪,属于检测仪表领域,包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块,所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块,所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接,所述质量块通过所述折叠梁支撑悬浮于所述固定框架中心,所述自溯源光栅干涉仪包括自溯源光栅和干涉测量读数头,所述自溯源光栅设置在所述质量块上。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪,具有极高测量度,并且位移测量可实时溯源,相比于传统MOMES相对重力仪能够提高其位移测量的准确度,减小重力加速度测量的非线性效应。

    一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统

    公开(公告)号:CN117631312A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311762826.7

    申请日:2023-12-20

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于莫尔衍射光学元件的平面光学元件对准系统,该系统包括:待对准平面光学元件、连续谱光源、多光谱相机和光学子系统,其中:所述光学子系统,该子系统为基于莫尔衍射光学元件MODEs的光学子系统,用于将所述连续谱光源生成的多色光聚焦到不同深度的所述待对准平面光学元件的表面上,并将所述表面反射的反射光返回所述多光谱相机,以获取多个不同深度的所述表面的相同放大倍率的成像,通过调整所述莫尔衍射光学元件MODEs,在所述成像均为清晰图像时,完成对所述待校准平面光学元件的对准。与现有技术相比,本发明具有对准精度高、结构简单、功能丰富等有益效果。

    一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法

    公开(公告)号:CN115096177B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202210010441.4

    申请日:2022-01-06

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法,所述装置包括光栅、透镜、以及用于检测子束光斑相对位置的相机和计算机;所述相机与计算机连接;激光合束系统发出的激光合束光束依次经过光栅和透镜,并聚焦到相机的相面上。与现有技术相比,本发明通过光学设计的方法保证了子束光斑位置在同一相机上且能够分开,通过实时监测子束的相对位置,确保了激光合束光束中的各个子束光斑位置一直处于给定的范围位置内,从而保证激光合束光束质量。

    一种基于铬原子跃迁频率的纳米长度计量系统及方法

    公开(公告)号:CN119197336A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411401655.X

    申请日:2024-10-09

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于铬原子跃迁频率的纳米长度计量系统及方法,属于纳米长度计量领域,所述纳米长度计量系统包括物理波长基准和工作标准物质,所述物理波长基准为锁定至铬原子(7S3→7P4)跃迁谱线的425.55nm激光波长,所述工作标准物质为利用原子光刻方法制备的铬自溯源系列光栅,光栅周期均溯源于物理波长基准,所述铬自溯源系列光栅包括一维铬自溯源光栅和二维铬自溯源光栅。本发明采用上述的一种基于铬原子跃迁频率的纳米长度计量系统,利用激光汇聚原子沉积的方式将铬原子跃迁频率这一自然常数物化到铬自溯源光栅上,使光栅具有独立溯源性的同时又具有超高准确性和一致性。

    一种基于自溯源光栅的外差式精密位移测量系统

    公开(公告)号:CN119124001A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411278096.8

    申请日:2024-09-12

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的外差式精密位移测量系统,属于精密位移测量技术领域。包括单频激光模块、移频模块、外差位移测量模块、自溯源光栅和信号处理模块。单频激光模块产生单频激光,经过移频模块,得到两个频率不同且偏振态互相正交的线偏振光,构成外差光源。外差激光经外差位移测量模块,入射至自溯源光栅上,衍射光沿原光路返回至外差位移测量模块,得到具有位移信息的测量信号与参考信号,最后通过信号处理模块解算出两路信号的相位差并做位移换算。实现一种具有高稳定性与分辨力,且位移量值独立溯源的超精密位移测量系统,兼具外差光栅干涉仪的抗环境干扰能力,有着测量高分辨力,测量结果独立且可靠溯源的优势。

    一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法

    公开(公告)号:CN115096177A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210010441.4

    申请日:2022-01-06

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明涉及一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法,所述装置包括光栅、透镜、以及用于检测子束光斑相对位置的相机和计算机;所述相机与计算机连接;激光合束系统发出的激光合束光束依次经过光栅和透镜,并聚焦到相机的相面上。与现有技术相比,本发明通过光学设计的方法保证了子束光斑位置在同一相机上且能够分开,通过实时监测子束的相对位置,确保了激光合束光束中的各个子束光斑位置一直处于给定的范围位置内,从而保证激光合束光束质量。

    一种基于自溯源光栅的外差式精密位移测量系统

    公开(公告)号:CN119124001B

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202411278096.8

    申请日:2024-09-12

    Applicant: 同济大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的外差式精密位移测量系统,属于精密位移测量技术领域。包括单频激光模块、移频模块、外差位移测量模块、自溯源光栅和信号处理模块。单频激光模块产生单频激光,经过移频模块,得到两个频率不同且偏振态互相正交的线偏振光,构成外差光源。外差激光经外差位移测量模块,入射至自溯源光栅上,衍射光沿原光路返回至外差位移测量模块,得到具有位移信息的测量信号与参考信号,最后通过信号处理模块解算出两路信号的相位差并做位移换算。实现一种具有高稳定性与分辨力,且位移量值独立溯源的超精密位移测量系统,兼具外差光栅干涉仪的抗环境干扰能力,有着测量高分辨力,测量结果独立且可靠溯源的优势。

    一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置

    公开(公告)号:CN118884591B

    公开(公告)日:2025-05-23

    申请号:CN202411168208.4

    申请日:2024-08-23

    Abstract: 本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置,涉及原子光刻技术领域,装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接;连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接;倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接;保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接;拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接;频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接;偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接;偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接,本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。

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