公开(公告)号：CN119126248B

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411284562.3

申请日：2024-09-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 邓晓 ,  程鑫彬 ,  常郅坤 ,  薛栋柏 ,  张皓然 ,  解钰莹 ,  何春伶 ,  李同保

IPC: G01V7/00 ,  G01V7/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块，所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接，所述质量块通过所述折叠梁支撑悬浮于所述固定框架中心，所述自溯源光栅干涉仪包括自溯源光栅和干涉测量读数头，所述自溯源光栅设置在所述质量块上。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，具有极高测量度，并且位移测量可实时溯源，相比于传统MOMES相对重力仪能够提高其位移测量的准确度，减小重力加速度测量的非线性效应。

公开(公告)号：CN119126248A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202411284562.3

申请日：2024-09-13

Applicant: 同济大学

Inventor： 邓晓 ,  程鑫彬 ,  常郅坤 ,  薛栋柏 ,  张皓然 ,  解钰莹 ,  何春伶 ,  李同保

IPC: G01V7/00 ,  G01V7/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块，所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接，所述质量块通过所述折叠梁支撑悬浮于所述固定框架中心，所述自溯源光栅干涉仪包括自溯源光栅和干涉测量读数头，所述自溯源光栅设置在所述质量块上。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，具有极高测量度，并且位移测量可实时溯源，相比于传统MOMES相对重力仪能够提高其位移测量的准确度，减小重力加速度测量的非线性效应。