公开(公告)号：CN109427571A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201711341333.0

申请日：2017-12-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 梁家铭 ,  莫亦先 ,  邱怀贤 ,  张启新 ,  黄仁安 ,  李依叡

IPC: H01L21/302 ,  H01L29/10

Abstract: 本文公开了具有优化的鳍临界尺寸负载的集成电路器件。示例性集成电路器件包括包含第一多鳍结构的核心区域和包含第二多鳍结构的输入/输出区域。第一多鳍结构具有第一宽度并且第二多鳍结构具有第二宽度。第一宽度大于第二宽度。在一些实施方式中，第一多鳍结构具有第一鳍间隔并且第二多鳍结构具有第二鳍间隔。第一鳍间隔小于第二鳍间隔。在一些实施方式中，第一多鳍结构的第一邻近鳍间距大于或等于三倍的最小鳍间距，并且第二多鳍结构的第二邻近鳍间距小于或等于两倍的最小鳍间距。本发明的实施例还涉及鳍临界尺寸负载优化。

公开(公告)号：CN109427571B

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN201711341333.0

申请日：2017-12-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 梁家铭 ,  莫亦先 ,  邱怀贤 ,  张启新 ,  黄仁安 ,  李依叡

IPC: H01L21/302 ,  H01L29/10

Abstract: 本文公开了具有优化的鳍临界尺寸负载的集成电路器件。示例性集成电路器件包括包含第一多鳍结构的核心区域和包含第二多鳍结构的输入/输出区域。第一多鳍结构具有第一宽度并且第二多鳍结构具有第二宽度。第一宽度大于第二宽度。在一些实施方式中，第一多鳍结构具有第一鳍间隔并且第二多鳍结构具有第二鳍间隔。第一鳍间隔小于第二鳍间隔。在一些实施方式中，第一多鳍结构的第一邻近鳍间距大于或等于三倍的最小鳍间距，并且第二多鳍结构的第二邻近鳍间距小于或等于两倍的最小鳍间距。本发明的实施例还涉及鳍临界尺寸负载优化。

公开(公告)号：CN116564892A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310241118.2

申请日：2023-03-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李依叡 ,  李丞唐 ,  张黄超 ,  吴璧雰

IPC: H01L21/8234 ,  H01L27/088

Abstract: 示例性方法包括接收用于混合鳍器件的混合鳍器件布局，混合鳍器件包括设置在单鳍有源区域和多鳍有源区域上方的栅极。单鳍有源区域和多鳍有源区域沿第一方向纵向延伸。栅极沿第二方向纵向延伸，第二方向与第一方向不同，并且栅极具有沿第一方向的宽度。单鳍有源区域和栅极的第一部分形成具有第一电特性的第一基于鳍的器件。多鳍有源区域和栅极的第二部分形成具有与第一电特性不同的第二电特性的第二基于鳍的器件。方法还包括调节栅极的宽度以减小第一电特性和第二电特性之间的差异。本申请的实施例还涉及混合鳍器件及其制造方法。