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发明公开
混合鳍器件及其制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN116564892A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310241118.2

申请日：2023-03-14

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 李依叡 , 李丞唐 , 张黄超 , 吴璧雰

IPC: H01L21/8234 , H01L27/088

Abstract: 示例性方法包括接收用于混合鳍器件的混合鳍器件布局，混合鳍器件包括设置在单鳍有源区域和多鳍有源区域上方的栅极。单鳍有源区域和多鳍有源区域沿第一方向纵向延伸。栅极沿第二方向纵向延伸，第二方向与第一方向不同，并且栅极具有沿第一方向的宽度。单鳍有源区域和栅极的第一部分形成具有第一电特性的第一基于鳍的器件。多鳍有源区域和栅极的第二部分形成具有与第一电特性不同的第二电特性的第二基于鳍的器件。方法还包括调节栅极的宽度以减小第一电特性和第二电特性之间的差异。本申请的实施例还涉及混合鳍器件及其制造方法。

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