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公开(公告)号：CN118659753A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410798454.1
申请日：2024-06-20
申请人： 厦门大学
IPC分类号： H03H3/02
摘要： 本发明公开了一种三分层石英压力敏感器件键合治具及其应用，该键合治具包括石英谐振片置放工装、通过直杆对称布置在石英谐振片置放工装的上下两侧的两石英端帽夹持工装以及套设在直杆上的若干组层间弹簧，若干组层间弹簧布置在所述的石英端帽夹持工装与石英谐振片置放工装之间；石英端帽夹持工装包括两端帽夹持块，两端帽夹持块水平可调式对接，形成与石英端帽适配的端帽夹持腔；石英谐振片置放工装包括两谐振片夹持块，两谐振片夹持块水平可调式对接，形成与谐振片适配的谐振片腔；端帽夹持腔与谐振片腔的中心点在同一竖直直线上。本发明实现了对压力敏感芯体的高质量键合，提高石英谐振器的品质因数，从而制备出高精度的石英谐振式压力传感器。
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公开(公告)号：CN118425240A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410464716.0
申请日：2024-04-17
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及溶液测量领域，尤其涉及一种电极式电导率传感器电导率测量电路与方法，首先交流激励发生模块在单片机的控制下产生幅度和频率可调的交流正弦激励信号；然后交流正弦激励信号依次通过精密电阻R0和电极式传感器的电导池到系统地；接着差分放大电路对精密电阻R0之间和电导池电极片之间的电压进行差分放大；放大后的电压信号再经过ADC采集后将电压数据传递给给单片机；最后单片机把采集到的电压数据经过运算后就可以得到溶液的电导率。本发明直接采集交流信号的波峰和波谷电压值，相减后来得到交流信号幅值，无需整流滤波电路检测交流信号幅值，可以快速响应溶液电导率的变化，同时消除了共模干扰因素的影响，也简化了电路设计。
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公开(公告)号：CN118362225A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410432128.9
申请日：2024-04-11
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及一种石英谐振式力传感器，具体涉及一种基于质量块负载效应的大量程、高灵敏度石英谐振式力传感器，所述石英谐振式力传感器为圆盘式谐振器，所述圆盘式谐振器的结构为边缘薄、中心厚的凸透镜结构，且其悬臂梁的尾端安装有一集中质量块。本发明可有效提高谐振器在大压力下的Q值，扩大了石英谐振器能陷效应所限制的频率范围，减小中心振动能量的扩散，提升石英谐振式力传感器在大压力下的输出精度。
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公开(公告)号：CN118360580A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410576717.4
申请日：2024-05-10
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具，包括：由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体，以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座；所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位，且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔；所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域。本发明能够精准控制溅射沉积范围的治具，以实现石英晶体生产溅射沉积环节侧电极薄膜图形的一致化，并且可以通过对治具图形进行灵活的设计，以实现侧电极溅射沉积图形的不同。
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公开(公告)号：CN118191030A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410432091.X
申请日：2024-04-11
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及海洋测量仪器技术领域，具体涉及一种高精度的七电极电导率传感器，其电导池管为具有两端开口的管状结构，其内壁上开设有七个环状凹槽，每一所述的环状凹槽内对应设有一内电极；且每一所述的环状凹槽内设有一贯穿电导池管的通孔，每一所述的通孔的内壁均镀有金属电极层；所述的内电极、金属电极层与所述的电导池管通过高温共烧一体连接。本发明的七电极电导率传感器具有高精度、长期使用稳定好、使用寿命长的优点。
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公开(公告)号：CN118603346A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410209098.5
申请日：2024-02-26
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01K7/20 , G06F18/15 , G06F30/367 , G06F119/08
摘要： 本发明涉及温度测量技术领域，具体涉及一种小型化高精度铂电阻测温电路，包括：自研铂电阻传感器，测量范围为‑10℃到200℃；MAX31865四线制测温电路，通过适配器与自研铂电阻传感器电连接，将电信号转化为数字信号并传输至STM32主控电路；STM32主控电路，对数字信号进行处理并控制OLED显示模块和开关机电路的工作；OLED显示模块，显示当前测量温度和历史温度数据以及曲线图；开关机电路，根据STM32主控电路传输的信号自动关闭测温电路，采用PMOS和三极管设计。本发明具有单次测温和连续实时测温的功能，可以实现电阻值到温度值的高精度转换的同时，有效提高了系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN117878180A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311614865.2
申请日：2023-11-29
申请人： 厦门大学
IPC分类号： H01L31/105 , H01L31/0236 , H01L31/0336
摘要： 本发明涉及光电传感器领域，具体涉及一种硅基氧化镓异质日盲光电传感器结构，所述传感结构由硅衬底、多维硅纳米锥结构、氧化镓薄膜、P型掺杂区、N型掺杂区、欧姆接触、以及金电极构成；多维硅纳米锥结构由微米结构和纳米结构组合而成；微米结构预先采用MEMS工艺光刻成相应图形，再通过Bosch刻蚀形成相应微米结构；纳米结构是在微米结构的基础上采用光刻工艺形成相应图形，再通过等离子体浸没刻蚀形成微纳分层的多维硅纳米锥结构。本发明形成的PIN型光电探测结构本征区具有很高的阻抗与氧化镓薄膜对日盲紫外光的倍增吸收可以对光生电子空穴对进行有效收集，将探测的范围扩展到日盲紫外光范围，从而获得理想的量子效率和响应速度。
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公开(公告)号：CN118549707A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410798413.2
申请日：2024-06-20
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01R27/02
摘要： 本发明属于锂电浆料测量领域，尤其涉及一种电阻率测量传感器及测量系统、测量方法，该传感器包括电导池管和引线，所述的电导池管为两端开口的管状结构，内壁上开有七个环状凹槽，每一个环状凹槽内均安装有一内电极；所述的电导池管的右侧壁上开设有与环状凹槽一一对应的电极引线口，电极引线口贯穿电导池管的右侧壁设置；所述的引线一端通过电极引线口与内电极相连，并在电极引线口处固定，另一端连接传感器接口，并通过传感器接口与后端解算电路相连。本发明的传感器具有高稳定性和便于清洁的特点，能够实现浆料电阻率的原位测量，满足快速测量和高精度测量需求，并且具有操作简便的优点。
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公开(公告)号：CN118533915A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410459238.4
申请日：2024-04-17
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及溶液电导率测量技术领域，具体涉及一种平面七电极式电导率传感器，包括陶瓷基板、以及从左往右依次平行分布在陶瓷基板上的左外侧电极、左中间电极、左内侧电极、中心电极、右内侧电极、右中间电极、右外侧电极，所述的中间电极与左外侧电极、右外侧电极形成激励电流电极，左中间电极、左内侧电极、右内侧电极、右中间电极形成电压测试电极，激励电流电极的尺寸略大于电压测试电极，且中间电极的前端面扩大设置，可以优化电场分布，降低极化效应。同时，电极后端的回弯设计可形成局部电场闭环，增强电场强度，降低邻近效应的影响。此外，传感器设计考虑了微型化，具有功耗低，抗污染能力强等特点，使其在各种应用中具有广泛的用途。
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公开(公告)号：CN118464976A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410602396.0
申请日：2024-05-15
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器，包括：功能部，包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底；第一薄膜层为硅化合物薄膜，用于保护电极层；电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号；封装部，设有内电极和外电极，内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号，外电极与外部电路相连接以输出检测信号。本发明设有参比和补偿电阻，增加了传感器的检测精度和检测范围；通过结构设置使测量电阻丝充分接触周边空气，快速检测氢气浓度变化；采用多层保护膜和透气疏水膜，使得该传感器可稳定应用于高湿度环境下。
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