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公开(公告)号：CN118464976A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410602396.0
申请日：2024-05-15
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种高湿度环境下氢气浓度测量的氢气传感器，包括：功能部，包括依次叠加的第一薄膜层、电极层和硅基底；第一薄膜层为硅化合物薄膜，用于保护电极层；电极层用于根据气体中的热导率变化生成检测氢气浓度的检测信号；封装部，设有内电极和外电极，内电极与电极层相连接以接收电极层的检测信号，外电极与外部电路相连接以输出检测信号。本发明设有参比和补偿电阻，增加了传感器的检测精度和检测范围；通过结构设置使测量电阻丝充分接触周边空气，快速检测氢气浓度变化；采用多层保护膜和透气疏水膜，使得该传感器可稳定应用于高湿度环境下。
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公开(公告)号：CN117647337A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311614866.7
申请日：2023-11-29
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01L1/16
摘要： 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种低阻尼的石英谐振式压力传感器，由盖帽、谐振片和盖帽组成，所述谐振片采用多孔网筛结构。本发明利用飞秒激光加工技术，在谐振片中心进行多孔网筛，一方面，多孔网筛在几何尺度上保证了谐振片的对称性，使得能陷区被限制在谐振片的中心，即振动能量主要集中在电极区，从而使得传感器将具有较高的灵敏度及分辨率。另一方面，通过谐振片中心多孔网筛，有力地减小了石英谐振片在非真空环境下振动的空气阻尼，从而减小了器件与空气作用而导致的能量耗散，这对于提高传感器的长期稳定性以及抗干扰能力都具有十分重要的作用。
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公开(公告)号：CN118659753A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410798454.1
申请日：2024-06-20
申请人： 厦门大学
IPC分类号： H03H3/02
摘要： 本发明公开了一种三分层石英压力敏感器件键合治具及其应用，该键合治具包括石英谐振片置放工装、通过直杆对称布置在石英谐振片置放工装的上下两侧的两石英端帽夹持工装以及套设在直杆上的若干组层间弹簧，若干组层间弹簧布置在所述的石英端帽夹持工装与石英谐振片置放工装之间；石英端帽夹持工装包括两端帽夹持块，两端帽夹持块水平可调式对接，形成与石英端帽适配的端帽夹持腔；石英谐振片置放工装包括两谐振片夹持块，两谐振片夹持块水平可调式对接，形成与谐振片适配的谐振片腔；端帽夹持腔与谐振片腔的中心点在同一竖直直线上。本发明实现了对压力敏感芯体的高质量键合，提高石英谐振器的品质因数，从而制备出高精度的石英谐振式压力传感器。
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公开(公告)号：CN118362225A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410432128.9
申请日：2024-04-11
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及一种石英谐振式力传感器，具体涉及一种基于质量块负载效应的大量程、高灵敏度石英谐振式力传感器，所述石英谐振式力传感器为圆盘式谐振器，所述圆盘式谐振器的结构为边缘薄、中心厚的凸透镜结构，且其悬臂梁的尾端安装有一集中质量块。本发明可有效提高谐振器在大压力下的Q值，扩大了石英谐振器能陷效应所限制的频率范围，减小中心振动能量的扩散，提升石英谐振式力传感器在大压力下的输出精度。
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公开(公告)号：CN118360580A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410576717.4
申请日：2024-05-10
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具，包括：由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体，以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座；所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位，且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔；所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域。本发明能够精准控制溅射沉积范围的治具，以实现石英晶体生产溅射沉积环节侧电极薄膜图形的一致化，并且可以通过对治具图形进行灵活的设计，以实现侧电极溅射沉积图形的不同。
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