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公开(公告)号：CN115078843A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210510706.7
申请日：2022-05-11
IPC分类号： G01R27/22
摘要： 本发明涉及温度补偿式片上集成电导率传感器及电导率测量方法，包括：绝缘衬底；温度电极，附着于所述绝缘衬底的中央位置；导温薄膜，覆盖于所述温度电极；一组电压电极，以所述温度电极为中心对称附着于所述温度电极两侧的绝缘衬底上；一组电流电极，以所述温度电极为中心对称附着于相应的电压电极外侧的绝缘衬底上。通过电压差、待测液体的温度、温度与电导率的补偿关系即可计算得到当前待测液体在标定温度下的电导率。
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公开(公告)号：CN118362225A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410432128.9
申请日：2024-04-11
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及一种石英谐振式力传感器，具体涉及一种基于质量块负载效应的大量程、高灵敏度石英谐振式力传感器，所述石英谐振式力传感器为圆盘式谐振器，所述圆盘式谐振器的结构为边缘薄、中心厚的凸透镜结构，且其悬臂梁的尾端安装有一集中质量块。本发明可有效提高谐振器在大压力下的Q值，扩大了石英谐振器能陷效应所限制的频率范围，减小中心振动能量的扩散，提升石英谐振式力传感器在大压力下的输出精度。
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公开(公告)号：CN118360580A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410576717.4
申请日：2024-05-10
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种应用于振膜式石英压力芯体的图案化侧电极沉积治具，包括：由两形状相同的金属外壳、四定位销和一金属盖板组成的治具本体，以及用于实现治具本体支撑限位的治具倾斜基座；所述的两形状相同的金属外壳通过四个定位销对接实现压力晶体的限位，且所述的两形状相同的金属外壳上对称开设有一组溅射孔；所述的金属盖板用于遮盖压力晶体无需溅射沉积的区域。本发明能够精准控制溅射沉积范围的治具，以实现石英晶体生产溅射沉积环节侧电极薄膜图形的一致化，并且可以通过对治具图形进行灵活的设计，以实现侧电极溅射沉积图形的不同。
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公开(公告)号：CN117647337A
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202311614866.7
申请日：2023-11-29
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01L1/16
摘要： 本发明涉及压力传感器领域，具体涉及一种低阻尼的石英谐振式压力传感器，由盖帽、谐振片和盖帽组成，所述谐振片采用多孔网筛结构。本发明利用飞秒激光加工技术，在谐振片中心进行多孔网筛，一方面，多孔网筛在几何尺度上保证了谐振片的对称性，使得能陷区被限制在谐振片的中心，即振动能量主要集中在电极区，从而使得传感器将具有较高的灵敏度及分辨率。另一方面，通过谐振片中心多孔网筛，有力地减小了石英谐振片在非真空环境下振动的空气阻尼，从而减小了器件与空气作用而导致的能量耗散，这对于提高传感器的长期稳定性以及抗干扰能力都具有十分重要的作用。
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公开(公告)号：CN217541985U
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202221127025.4
申请日：2022-05-11
摘要： 本实用新型提供了一种模块化多参数水下传感装置，包括：壳体；与所述壳体的一端可拆卸设置的传感端盖组件，所述传感端盖组件包括前端盖，所述前端盖远离所述壳体的端面设有若干前端接口；均设有连接端的若干水下传感器，若干所述水下传感器通过其连接端和所述前端接口的配合与所述前端盖可拆卸设置；设于所述壳体内部的支架，所述支架的一端与所述传感端盖组件固定设置，其另一端朝远离所述传感端盖组件的方向延伸，且依次固设有传感器集成调理电路板和电源，若干所述水下传感器、传感端盖组件、传感器集成调理电路板、电源之间依次电连接。可以使水下传感装置具有极大的扩展性、便捷性，大大增强了对不同水下环境的测试兼容性。
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