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公开(公告)号：CN115420206A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211121561.8
申请日：2022-09-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法，该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台，所述载物台用于放置待测微孔样品；所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置，所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置；所述多通道光源用于输出不同的单色光源，并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折；所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源，并发送至计算机，采用多通道光源发出不同波段的光源，DMD调制单点光进行照射微孔，通过不同波段光强做差，光强差转高度，从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。
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公开(公告)号：CN115406368B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202210935692.3
申请日：2022-08-04
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
IPC: G01B11/12 , G06T7/136 , G06T3/4038
Abstract: 本发明提供一种大范围曲面圆孔测量方法，确定轴向扫描次数、X向扫描最小次数以及Y向扫描最小次数，采用横向扫描采图外加纵向扫描采图的扫描方法，并采用图像中单位范围内环形分割加环形拼接，多阈值分层式计算直径；测量速度快，测量精度高，可以达到工业快速检测的要求，且测量方法鲁棒性强，可以大批量测出大变化范围孔径。
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公开(公告)号：CN115200508B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210898541.5
申请日：2022-07-28
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种面阵式超精密彩色共聚焦显微镜三维测量装置，包括面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块、纵向色散增强型光学显微成像模块、多窄带波段图像获取模块、图像分析与系统控制模块；来自面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块的光照射到待测样品上，从待测样本反射的光经过纵向色散增强型光学显微成像模块后进入多窄带波段图像获取模块，所述多窄带波段图像获取模块获取的图像信息进入到图像分析与系统控制模块。本发明提供的方法，能够实现高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。
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公开(公告)号：CN115200507B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210898540.0
申请日：2022-07-28
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法，包括：系统开机、样本放置以及超精密三维显微闪测步骤，首先在多窄带波段成像模块中的黑白相机形成波段为相应波段的多光谱共聚焦图像，其次构建差动信号步骤,将N个多光谱共聚焦图像相邻波段两两做差构建N‑1个差动信号，采用实际测量获得的N‑1个差动信号强度并对应预先刻度所获得的差动信号强度与高度线性关系曲线，获得样本表面高度；实现精密乃至超精密且超快的显微3D测量，且能够进行高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。
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公开(公告)号：CN115200507A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210898540.0
申请日：2022-07-28
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法，包括：系统开机、样本放置以及超精密三维显微闪测步骤，首先在多窄带波段成像模块中的黑白相机形成波段为相应波段的多光谱共聚焦图像，其次构建差动信号步骤,将N个多光谱共聚焦图像相邻波段两两做差构建N‑1个差动信号，采用实际测量获得的N‑1个差动信号强度并对应预先刻度所获得的差动信号强度与高度线性关系曲线，获得样本表面高度；实现精密乃至超精密且超快的显微3D测量，且能够进行高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115406368A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210935692.3
申请日：2022-08-04
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种大范围曲面圆孔测量方法，确定轴向扫描次数、X向扫描最小次数以及Y向扫描最小次数，采用横向扫描采图外加纵向扫描采图的扫描方法，并采用图像中单位范围内环形分割加环形拼接，多阈值分层式计算直径；测量速度快，测量精度高，可以达到工业快速检测的要求，且测量方法鲁棒性强，可以大批量测出大变化范围孔径。
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公开(公告)号：CN115200508A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210898541.5
申请日：2022-07-28
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种面阵式超精密彩色共聚焦显微镜三维测量装置，包括面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块、纵向色散增强型光学显微成像模块、多窄带波段图像获取模块、图像分析与系统控制模块；来自面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块的光照射到待测样品上，从待测样本反射的光经过纵向色散增强型光学显微成像模块后进入多窄带波段图像获取模块，所述多窄带波段图像获取模块获取的图像信息进入到图像分析与系统控制模块。本发明提供的方法，能够实现高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。
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公开(公告)号：CN115031659B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210641105.X
申请日：2022-06-08
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种轴向跨尺度的精密三维显微测量方法，包括如下步骤：步骤1：在显微成像装置中，根据一定步进层扫获取一定数量的图像序列；步骤2：对层扫获得的图像序列分析其局部清晰区域提取并分割；步骤3：根据所分割的局部清晰区域，利用轴向差动原理，还原该序号图像上清晰区域的三维信息；步骤4：对不同序号所还原的清晰区域轴向三维信息，通过所述的层扫步进叠加进行融合，实现三维测量。上述的轴向跨尺度的精密三维显微测量方法，能够解决高精度下，实现轴向量程拓展。
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公开(公告)号：CN115031659A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210641105.X
申请日：2022-06-08
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种轴向跨尺度的精密三维显微测量方法，包括如下步骤：步骤1：在显微成像装置中，根据一定步进层扫获取一定数量的图像序列；步骤2：对层扫获得的图像序列分析其局部清晰区域提取并分割；步骤3：根据所分割的局部清晰区域，利用轴向差动原理，还原该序号图像上清晰区域的三维信息；步骤4：对不同序号所还原的清晰区域轴向三维信息，通过所述的层扫步进叠加进行融合，实现三维测量。上述的轴向跨尺度的精密三维显微测量方法，能够解决高精度下，实现轴向量程拓展。
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公开(公告)号：CN218481055U
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202222457428.1
申请日：2022-09-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置，该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台，所述载物台用于放置待测微孔样品；所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置，所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置；所述多通道光源用于输出不同的单色光源，并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折；所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源，并发送至计算机，采用多通道光源发出不同波段的光源，DMD调制单点光进行照射微孔，通过不同波段光强做差，光强差转高度，从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。
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