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公开(公告)号：CN115096211B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202210710316.4
申请日：2022-06-22
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种再模糊的共焦差动轴向有效区域提取的三维还原方法，包括拍摄焦面图像、焦前图像、焦后图像三张图像；对焦面图像进行模糊处理，提取焦面图像内的轮廓边缘区域，并提取再模糊图像中的轮廓边缘区域对应区域；分别计算边缘梯度，将边缘灰度梯度和再模糊边缘灰度梯度进行比值运算，并计算离焦深度；提取焦面图像区域深度小于等于焦前图像、焦后图像离焦距离的区域；根据焦前、焦后分别提取的有效区域，进行作差，利用共焦差动轴向响应曲线还原视场内有效测量区域三维形貌；本发明实现了共聚焦差动测量有效测量区域的提取，提供了一种实现共焦差动测量的三维形貌的准确还原新方法，且可应用于不同共聚焦测量系统，具有一定的普适性。
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公开(公告)号：CN116124778A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310132487.8
申请日：2023-02-20
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开一种差动共焦轴向有效测量区域判定装置、方法及系统，涉及共聚焦显微测量领域，方法包括：获取被测样品的表面图像以及预设轴向测量范围；根据预设轴向测量范围，提取差动图像的标准测量灰度区间，并确定焦前图像的第一可测量灰度区间和焦后图像的第二可测量灰度区间；剔除差动图像中标准测量灰度区间以外的图像区域；将第一可测量灰度区间和第二可测量灰度区间作交集运算；根据交集灰度区间过滤掉剔除后的差动图像中的无效测量区域，将剔除后的差动图像中的有效测量区域作为差动共焦轴向测量方法的有效测量区域。本发明的方法能够预判差动共焦轴向测量方法的有效测量区域，提高了差动共焦轴向测量方法在实际测量过程中数据真实性。
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公开(公告)号：CN115128763A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210821339.2
申请日：2022-07-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供一种差动式的自动对焦的测量方法，包括光源发射对焦光线，穿过矫直透镜组将光源所产生的光线进行矫直产生平行光线，再经过第一分光镜将平行光线进行反射，通过物镜汇聚在样品的表面，样品表面将对焦光线进行反射，通过物镜将对焦光线转为平行光，穿过分光镜，经过物镜对焦光线开始汇聚，利用第二分光镜将管镜产生的汇聚光线分向第一感光器件和第二感光器件，通过第一感光器件与第二感光器件的光强差判断样品的离焦量，若光强差为0，则实现对焦。本发明方法只需采集一次图像便可求出被测物品的离焦量，实现了快速对焦，提高了对焦的精准性。
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公开(公告)号：CN115540782A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211336692.8
申请日：2022-10-28
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共焦差动测量的反射率不均消除系统及方法，属于共焦测量技术领域。该系统包括：复色光源、准直透镜、数字微镜器件、第一分光透镜、色散管镜、物镜、载物模块、第二分光透镜、第一滤光转盘、第一滤光片、第一聚焦透镜、焦前相机、第三分光透镜、第二滤光转盘、第二滤光片、第二聚焦透镜、焦面相机、第三滤光转盘、第三滤光片、第三聚焦透镜、焦后相机和处理单元。基于该并行彩色共焦测量的反射率不均消除系统，通过反射率为乘性的特性，利用焦面光谱信息消除被测物体对不同波长反射率不同的影响，去除了并行彩色共焦差动测量过程中因不同波段导致的反射率各异因此的测量误差问题，极大提高了测量的准确性。
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公开(公告)号：CN115420206A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211121561.8
申请日：2022-09-15
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法，该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台，所述载物台用于放置待测微孔样品；所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置，所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置；所述多通道光源用于输出不同的单色光源，并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折；所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源，并发送至计算机，采用多通道光源发出不同波段的光源，DMD调制单点光进行照射微孔，通过不同波段光强做差，光强差转高度，从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115128762A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210821316.1
申请日：2022-07-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提出了一种基于光强梯度数的自动对焦测量方法，利用了PSF函数的图像特性并用拟合函数进行了拟合，对不同离焦量下的光点图像利用拟合函数进行拟合，并求一阶导函数；将一阶导函数的极值做差，可得到离焦量—导函数极值差的函数曲线；将离焦量—导函数极值差的函数曲线，利用拟合函数进行拟合；得到标定好的离焦量—导函数极值差函数，通过找寻不同离焦量下所拟合高斯函数存在一阶导函数极值差存在差异的特性，绘制出离焦量—一阶导函数极值差的函数曲线，提高了对焦的精准性，并实现了快速对焦，同时也提高了普适性。
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公开(公告)号：CN115031660B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210711460.X
申请日：2022-06-22
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供归一化光强的共焦差动测量有效区域的三维形貌还原方法，包括：采用相机拍摄焦面图像、焦前图像和焦后图像；对焦面图像的灰度值进行归一化处理，得到归一化图像；提取归一化图像与共聚焦轴向响应曲线对应的有效测量区域，得到有效测量模板，将有效测量模板分别与焦前图像、焦后图像进行掩膜提取，得到有效焦前图像、有效焦后图像；将有效焦前图像、有效焦后图像进行作差，利用差动共焦测量曲线，实现共聚焦差动测量有效测量区域三维还原；本发明方法将共聚焦成像轴向光强曲线和共聚焦差动曲线进行结合，有效的解决了视场中隶属于差动测量范围内的区域提取，实现了真实三维信息的还原。
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公开(公告)号：CN116222394A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310080544.2
申请日：2023-02-08
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开一种差动共聚焦轴向量程拓展测量装置、系统及方法，属于共聚焦显微测量领域。载物台带动被测样品沿轴向方向上下移动，实现层扫，并结合照明单元、准直透镜、数字微镜器件、分光透镜、物镜、聚焦透镜使用的差动共聚焦显微测量技术，并且根据测量系统所使用物镜倍数调整参考平面的轴向间距，同时根据每个参考平面中其有效测量区域对焦前离焦图像和焦后离焦图像进行交集运算，确定每一个参考平面中能够还原的图像区域，通过差动共聚焦测量方法与层扫相结合，扩展了差动共聚焦轴向测量量程，实现了轴向大量程测量，还保证了轴向测量精度。
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公开(公告)号：CN115524842A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211360742.6
申请日：2022-11-02
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种单目窄带多波段共焦成像系统，涉及共焦成像技术领域。照明单元产生复色光；准直透镜将复色光准直为复色光束；滤光转盘承载多个滤光片，并且，能够切换任一滤光片至复色光束的光路上；位于光路上的滤光片能够过滤复色光束形成窄带光；数字微镜器件将窄带光形成点光阵列；照明单元的中心以及数字微镜器件的中心位于准直透镜的光轴上；载物模块承载待成像物体；物镜、分光透镜、聚焦透镜和成像模块的中心共线；数字微镜器件的中心与分光透镜的中心共线；成像模块收集来自聚焦透镜的点光阵列，并形成成像结果。本发明实现了在成像过程中更换滤光片，提高了成像效率。
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公开(公告)号：CN115406368A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210935692.3
申请日：2022-08-04
Applicant: 华侨大学 , 宁波五维检测科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种大范围曲面圆孔测量方法，确定轴向扫描次数、X向扫描最小次数以及Y向扫描最小次数，采用横向扫描采图外加纵向扫描采图的扫描方法，并采用图像中单位范围内环形分割加环形拼接，多阈值分层式计算直径；测量速度快，测量精度高，可以达到工业快速检测的要求，且测量方法鲁棒性强，可以大批量测出大变化范围孔径。
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