大尺寸红外光学元件低应力保护增透薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN114774847B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202210417379.0

    申请日:2022-04-20

    IPC分类号: G02B1/115

    摘要: 本发明公开了一种大尺寸红外光学元件低应力保护增透膜系的制备方法,包括以下步骤:1)大尺寸红外光学元件无损清洗;2)采用离子辅助电子束蒸发工艺在清洗后的大尺寸红外光学元件表面依次镀制光学过渡层及应力匹配层,形成张应力层,张应力层厚度不低于400nm,应力值不低于200MPa;3)通过RF‑PECVD法在步骤2)所得张应力层上制备类金刚石薄膜作为压应力层,厚度不高于700nm,压应力不高于350MPa,即得大尺寸红外光学元件低应力薄膜。所得薄膜应力低,满足大尺寸红外光学元件低应力保护增透膜系的工艺需求,解决大尺寸红外光学元件成膜应力高的膜层脱落问题,有效提升了大尺寸红外光学元件的恶劣环境下的适应性及可靠性。

    一种随机结构金属网栅电磁屏蔽薄膜设计及制备方法

    公开(公告)号:CN116056437A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202211573651.0

    申请日:2022-12-08

    IPC分类号: H05K9/00 G06F30/10 G06T17/20

    摘要: 本发明公开了一种随机结构金属网栅电磁屏蔽薄膜设计及制备方法,其在二维平面生成规则周期点阵;对规则周期点阵中的每个点做随机扰动,得到非规则随机点阵;将随机点阵分割为Delaunay三角网,划分为泰森多边形,得到随机结构金属网栅图案;检查随机结构金属网栅的结构参数是否达到预期标准,包括网孔随机程度、光学透过率、次级衍射分布和电磁屏蔽效能;若没有达到标准,则重复进行规则周期点阵的随机扰动和泰森多边形划分,直至达到预期标准;本发明设计并制备了一种随机结构金属网栅电磁屏蔽薄膜,易于设计和加工,还可根据光学系统对光学性能和电磁屏蔽效能的具体要求对随机结构金属网栅的结构参数进行针对性调整,可应用于不同的工况环境。