一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途

    公开(公告)号:CN117263520A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311096069.4

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 本发明涉及一种铅玻璃通孔微通道板、其制作方法与用途,方法包括1)将铅玻璃原料混合、研磨、冲压、成型、切割、磨抛,得到铅玻璃薄片材料;2)将所述铅玻璃薄片材料,进行激光诱导局域改性、化学选择性腐蚀,得到具有铅玻璃通孔阵列结构的基底材料;3)将所述基底材料,通过氢还原处理或原子层沉积,制作电阻性二次电子发射层,得到铅玻璃通孔微通道板。本发明的通道孔径和孔间距可调、倍增成像鉴别率高、电子增益可调、探测量子效率高、暗电流噪声低、动态范围大,能广泛应用在微光像增强器、光电倍增管、质谱仪、光子计数器和辐射探测等领域。本发明制作方法操作简便、环境友好,工艺条件温和、能耗低,成本低廉、产量大,有利于推广应用。

    用于测试像增强管光电阴极光照后稳定性的装置及方法

    公开(公告)号:CN113432833B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202110660492.7

    申请日:2021-06-15

    Abstract: 本发明公开了一种用于测试像增强管光电阴极光照后稳定性的装置及方法,包括托盘、光源、高载重滑台和定位板。高载重滑台承载光源,高载重滑台上下滑动调节、固定托盘与光源的间距。托盘用于定位并安放待测试的像增强管;托盘上设置有长槽,便于在托盘上安放和取下像增强管。测试方法包括:测试增强器光照前的灵敏度、光照试验准备、测试装置照度校准、光照试验以及光照后测试及测试结果的处理等步骤。本发明测试时直接在托盘内进行,不需要将像增强器从流转盒内取出和放回,操作方便,节约成本,流转速度快。

    具有近红外增强功效的多维层叠光子晶体结构的制备方法

    公开(公告)号:CN114994807A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210539417.X

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种制备具有近红外增强功效的多维层叠光子晶体结构的方法,在硅衬底表面涂布光刻胶作为掩模层,光刻,并在掩膜层表面留下以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞;在硅衬底及掩膜层上外延氧化硅薄膜,去除所述掩膜层及外延在掩膜层表面的氧化硅薄膜,在以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞中留下圆柱型氧化硅结构;接着外延氧化铝阻挡层,再在阻挡层上外延氧化钛增透层并平坦化外延层表面,沉积氧化铪薄膜、匀胶光刻、刻蚀并退火形成圆锥型结构,至此获得圆柱型与圆锥型多层叠光子晶体结构。本发明的异型异质微纳结构的制备,形成多维层叠结构的光子晶体,通过改变所制备的光子晶体的材料、周期、占空比,提高了光子晶体在近红外的光谱响应。

    一种应用于多碱光电阴极的复合光学薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN110783157B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201911020021.9

    申请日:2019-10-24

    Abstract: 本发明公开了一种应用于多碱光电阴极的复合光学薄膜及其制备方法。所述复合光学薄膜由增透膜与亲和膜共同组成,所述增透膜的材料是TiO2薄膜,亲和膜的材料是HfO2薄膜。本发明的制备方法首先在硼硅玻璃窗基底上制作复合光学薄膜;然后以具有复合光学薄膜的硼硅玻璃窗衬底制作多碱光电阴极,并将其封装成多碱光电阴极具有复合光学薄膜二极管;最后,测试该二极管的阴极灵敏度及光谱响应曲线,满足要求则完成制备。本发明的复合光学薄膜及其制备方法可达到光学上的增透效果,增加入射光子经玻璃窗透射进入多碱光电阴极的概率,从而使得更多的入射光子被多碱光电阴极吸收,由此提高多碱光电阴极对入射光子的光电转换效率。

    一种提升特定波段量子效率的多碱阴极及其制备方法

    公开(公告)号:CN117276046A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311186341.8

    申请日:2023-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种提升特定波段量子效率的多碱阴极及其制备方法,该光电阴极由下而上由玻璃基底、SiO2衬底层、多碱光电阴极匹配的减反射层、Al2O3扩散阻挡层、多碱光电阴极层组成。所述的多碱光电阴极减反射层由10‑300对Ta2O5/TiO2/HfO2/Si3N4和SiO2交叠组成,所述的多碱光电阴极层由K3Sb基底层、Na2KSb光吸收层、Cs/Sb激活层及Sb表面层组成。本发明通过引入多碱光电阴极匹配的减反射层,同时控制多碱光电阴极层厚度与多碱光电阴极匹配的减反射层的厚度比例,调控多碱光电阴极特定波段的界面反射率降低,提高多碱光电阴极特定波段的光吸收利用率,最终实现多碱光电阴极特定波段的量子效率提升。

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