一种提升特定波段量子效率的多碱阴极及其制备方法

    公开(公告)号:CN117276046A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311186341.8

    申请日:2023-09-14

    IPC分类号: H01J43/08 H01J9/12

    摘要: 本发明公开了一种提升特定波段量子效率的多碱阴极及其制备方法,该光电阴极由下而上由玻璃基底、SiO2衬底层、多碱光电阴极匹配的减反射层、Al2O3扩散阻挡层、多碱光电阴极层组成。所述的多碱光电阴极减反射层由10‑300对Ta2O5/TiO2/HfO2/Si3N4和SiO2交叠组成,所述的多碱光电阴极层由K3Sb基底层、Na2KSb光吸收层、Cs/Sb激活层及Sb表面层组成。本发明通过引入多碱光电阴极匹配的减反射层,同时控制多碱光电阴极层厚度与多碱光电阴极匹配的减反射层的厚度比例,调控多碱光电阴极特定波段的界面反射率降低,提高多碱光电阴极特定波段的光吸收利用率,最终实现多碱光电阴极特定波段的量子效率提升。

    一种红外增强阴极组件的光电阴极膜层制作装置

    公开(公告)号:CN217768282U

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202221493290.4

    申请日:2022-06-15

    IPC分类号: H01J29/04 H01J29/18 H01J9/18

    摘要: 本实用新型公开了一种红外增强阴极组件的光电阴极膜层制作装置,包括玻璃窗、帽盖、外罩A和外罩B,外罩A与外罩B之间、外罩B与帽盖之间及外罩A与锑碱座之间均通过螺钉连接;帽盖有一个观察孔,玻璃窗放置于观察孔上;观察孔周围有4个光电阴极制作工位,每个工位旁边有定位柱,制作光电阴极膜层时,组件放置于光电阴极制作工位上,并通过定位柱定位;热电偶定位销位于两个光电阴极制作工位的中间。将组装好的护罩通过固定在锑碱座上,并将热电偶插入,实时监控护罩内的温度。组件在制作时无法通过观察表面颜色变化来判断工艺关键节点,可通过观察放置于观察孔上的玻璃窗颜色变化来判断工艺关键节点,保证光电阴极膜层质量。