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公开(公告)号：CN116631859B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310905373.2
申请日：2023-07-24
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L21/28 , H01L29/423
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件的T型栅及其制备方法，所述方法包括：在外延片上设置表面钝化层和牺牲层；在牺牲层的表面涂敷光刻胶，采用i‑line光刻工艺制备出光刻胶线条图形；刻蚀去除未被光刻胶线条图形覆盖的牺牲层，并侧向刻蚀被光刻胶线条图形覆盖的牺牲层，获得线宽缩小的牺牲层线条图形；在牺牲层线条图形上设置平坦化层；对平坦化层进行一致性去除，暴露出牺牲层线条图形；刻蚀去除牺牲层线条图形，形成线条图形窗口；利用线条图形窗口作为掩模，对表面钝化层进行刻蚀形成栅脚图形窗口；采用i‑line光刻工艺光刻出栅帽图形窗口，形成T型栅的图形窗口；在T型栅的图形窗口内沉积栅极金属层，形成T型栅。本发明能够降低制备成本，提高制备效率。
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公开(公告)号：CN115694660B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202211108028.8
申请日：2022-09-13
Applicant: 北京无线电测量研究所
Abstract: 本发明公开一种T型匹配谐振增强型光电探测器接收网络，所述T型匹配谐振增强型光电探测器接收网络包含探测器芯片、T型谐振匹配网络、偏置电路；T型谐振匹配网络与探测器连接，用于与负载阻抗匹配。本发明所述T型谐振匹配网络与探测器芯片匹配，可实现不同频段的光电探测器接收网络，适用于微波光子接收链路，提高链路增益。
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公开(公告)号：CN115694660A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211108028.8
申请日：2022-09-13
Applicant: 北京无线电测量研究所
Abstract: 本发明公开一种T型匹配谐振增强型光电探测器接收网络，所述T型匹配谐振增强型光电探测器接收网络包含探测器芯片、T型谐振匹配网络、偏置电路；T型谐振匹配网络与探测器连接，用于与负载阻抗匹配。本发明所述T型谐振匹配网络与探测器芯片匹配，可实现不同频段的光电探测器接收网络，适用于微波光子接收链路，提高链路增益。
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公开(公告)号：CN110749381B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201911171410.1
申请日：2019-11-26
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: G01K7/01
Abstract: 本发明公开一种温度检测电路，包括用于提供基准电压的基准电压源、用于将基准电压转换为第一电流和第二电流的电压电流转换器、用于接收第一电流和第二电流，并产生随温度变化的正温度系数电压的温度感应器及用于放大并输出正温度系数电压的电压放大器。通过基准电压源为电压电流转换器提供基准电压，电压电流转换器将基准电压转换为两路电流，两路电流经过温度感应器产生随温度变化的电压信号，再经过电压放大器后输出，实现温度检测，该温度检测电路的结构简单、面积小、成本低、温度检测范围宽，能够实现高集成度、高精度，可集成于需要温度检测的电路系统中。
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公开(公告)号：CN110855247A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911165422.3
申请日：2019-11-25
Applicant: 北京无线电测量研究所
Abstract: 本发明公开一种E波段带有矢量调制器的多通道接收机，该接收机包括n组接收通道以及功率合成模块，n为自然数，其中，每组通道均包括依次连接的信号放大模块和矢量调制模块；所述信号放大模块用于接收射频信号，并将射频信号的强度放大；所述矢量调制模块用于将放大后的射频信号进行相位的调制；所述功率合成模块用于将各通道的调制射频信号合成一路信号进行输出，功率合成模块的输入输出为单端信号，可实现无交叉的版图布局；矢量调制模块为宽带有源结构，可降低因工艺偏差导致的相位漂移问题，提高移相精度；信号放大模块为带有温度补偿偏置网络的三级结构，可减小温度变化对增益和噪声系数的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106654469B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201611044149.5
申请日：2016-11-23
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01P1/18
Abstract: 本发明公开了一种用于微波毫米波集成电路的数控移相器，其中固定相位生成电路将输入信号转换成两路具有相位差的输出信号，包括输入端口Input、输出端口Output1以及输出端口Output2，输入端口Input与移相器的信号输入端口RFin连接；单刀双掷开关电路切换不同的通路，输出具有相位差的两路信号，包括输入端口RFin1、输入端口RFin2、输出端口Out21、信号控制端口K1和信号控制端口K2，输入端口RFin1与输出端口Output1连接，组成第一通路，输入端口RFin2与输出端口Output2连接，组成第二通路，信号控制端口K1和信号控制端口K2用于切换第一通路和第二通路，输出端口Out21与移相器的信号输出端口RFout连接。上述移相器具有高移相精度、工作频带宽、电路面积小，便于阻抗匹配和系统中级联使用。
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公开(公告)号：CN117081545A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311121950.5
申请日：2023-09-01
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H03H17/08 , H03K19/20 , H03K19/0175
Abstract: 本发明公开一种超宽带数字移相器，包括移相电路模块和控制电路模块；移相电路模块包括射频信号输入端、射频信号输出端、输入信号通路开关选择电路、输出信号通路开关选择电路、参考信号通路、移相信号通路；控制电路模块与输入信号通路开关选择电路和输出信号通路开关选择电路连接，通过控制输入信号通路开关选择电路和输出信号通路开关选择电路，选择导通参考信号通路或移相信号通路；移相信号通路包括第一奇偶模补偿电路、相位补偿电路、折叠定向耦合器、第二奇偶模补偿电路；参考信号通路包括第一高频补偿电路、磁耦合全通网络、第二高频补偿电路。本发明能够在兼顾芯片小型化的基础上，拓展芯片带宽，在较宽频带范围内实现高精度数字移相。
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公开(公告)号：CN116979918A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311001296.4
申请日：2023-08-09
Applicant: 北京无线电测量研究所
Abstract: 本发明公开了一种可变增益放大器，包括增益粗调级电路、直流偏移消除电路、增益细调级电路、偏置电路；偏置电路的输出端连接增益粗调级电路、直流偏移消除电路和增益细调级电路；增益粗调级电路的输入端作为可变增益放大器的输入端，并且与直流偏移消除电路的输出端连接；直流偏移消除电路的输入端与增益粗调级电路的输出端连接；增益细调级电路的输入端与增益粗调级电路的输出端连接，增益细调级电路的输出端作为可变增益放大器的输出端；增益粗调级电路包括依次级联的第一～第四固定增益放大器电路和与各个固定增益放大器电路对应连接的第一～第四旁路开关。本发明具有较宽的增益可调范围，并且具备直流偏移消除功能。
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公开(公告)号：CN115912054A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211395786.2
申请日：2022-11-09
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01S5/22 , H01S5/30 , H01S5/34 , H01S5/40 , H01S5/02 , H01S5/026 , H01S5/028 , H01S5/065 , H01S5/10
Abstract: 本发明实施例公开了一种硅基FP激光器件、集成可调谐激光器及其制备方法。在一具体实施方式中，该器件包括硅衬底；形成在衬底上的第一导电类型的第一接触层；形成在第一接触层上的第一电极和耦合腔结构；所述耦合腔结构包括形成在第一接触层上的下波导光限制层和III‑V族量子点有源层，以及形成在量子点有源层上的第一脊型波导和第二脊型波导以及其间的隔离槽，每一脊型波导包括依次形成的上波导光限制层、第二导电类型的第二接触层和第二电极。该实施方式工艺简单，避免了使用传统分布式反馈激光器的布拉格光栅和二次外延技术，可实现较大的激光阵列波长覆盖范围，适用于低成本大规模硅光集成芯片生产。
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公开(公告)号：CN113838940A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202110954453.8
申请日：2021-08-19
Applicant: 北京无线电测量研究所
IPC: H01L31/0224 , H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明的实施例公开了一种集成型光电探测器及其制作方法，该探测器包括：衬底以及形成于衬底之上的缓冲层、重掺杂N型欧姆接触层、重掺杂N型半导体、半导体吸光层、重掺杂P型半导体、重掺杂P型欧姆接触层以及P电极。本申请的集成型光电探测器结构工艺简单，易于光子芯片单片集成；通过采用浅台面刻蚀能够降低侧壁漏电，进而降低器件暗电流；通过采用背面挖孔电极结构提高响应度特性和热传导效率，进而提高器件最大功率，具有广泛的应用前景。
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