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公开(公告)号:CN103762160A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201410042467.2
申请日:2014-01-28
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
CPC classification number: H01L21/30604 , B81C1/00539 , B81C2201/0133 , H01L21/67075
Abstract: 本发明涉及硅片刻蚀领域,具体而言,涉及深硅刻蚀方法及其装置。该深硅刻蚀方法,包括如下步骤:将腐蚀溶液置于水浴中加热至预定温度,并通过磁力搅拌器对所述腐蚀溶液进行搅拌,使所述腐蚀溶液内部温度均匀;将带有掩膜的硅片竖直置于所述腐蚀溶液中腐蚀;将腐蚀好的硅片用去离子水清洗并经氮气吹干,得到成品硅片。本发明提供的深硅刻蚀方法及其装置,与现有技术相比,使刻蚀出的硅片的结构、图形、尺寸一致。
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公开(公告)号:CN102055434A
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN201010568088.9
申请日:2010-12-01
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: H03H17/02
Abstract: 本发明涉及一种应用于惯性器件中数字滤波器的设计方法,其特征在于:根据惯性器件精度确定幅值衰减允许值,根据捷联惯导系统性能指标要求确定相位延迟允许值,根据惯性器件实际信号功率谱分析确定滤波器的一些技术参数;设计参考模拟滤波器,利用双线性变换法转换为IIR数字滤波器,在滤波器参数调整过程中,观察波特图并根据实测数据进行离线仿真计算;将去噪效果、通常截止频率、幅值衰减、相位延迟作为模糊变量,利用模糊规则判决使整体性能指标最优。利用该方法设计的数字滤波器可以有效地滤除惯性器件信号中的噪声,同时使幅值衰减和相位延迟控制在允许范围内,保证了信号精度。
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公开(公告)号:CN104634348B
公开(公告)日:2017-09-15
申请号:CN201510109100.2
申请日:2015-03-12
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: G01C21/20
Abstract: 本发明提供了组合导航中的姿态角计算方法,具体设计导航领域。本发明提供的组合导航中的姿态角计算方法,采用随动角校正的方式,其通过先以预先获取的捷联惯导系统误差角和角速度作为输入,随动角作为输出,根据随动角与捷联惯导系统回路的增益、阻尼比和自然角频率的关联关系建立闭环反馈回路,进而获取具有收敛特性的随动角作为优化随动角,并进一步根据优化随动角对原始的捷联矩阵进行校正,以确定第一优化捷联矩阵,最终依据第一优化捷联矩阵获取姿态角,从而完成了较为精确的姿态角的计算,解决了现有技术中的不足。
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公开(公告)号:CN102589552B
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201210017858.X
申请日:2012-01-19
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: G01C21/20
Abstract: 本发明涉及一种低成本组合导航系统的数据融合方法和装置。该方法主要包括:根据组合导航系统中的微惯性测量单元的输出数据进行捷联惯导解算得到载体的航向ψI、根据组合导航系统中的磁阻传感器的输出数据解算得到载体的航向ψm、根据组合导航系统中的卫星接收机的输出数据解算得到载体的航向ψG;根据设置的载体航向最优化估计性能指标,将所述ψI、ψm和ψG按照一定的权重进行叠加,得到所述载体航向的最优估计值。本发明实施例在估计方差最小的最优性能指标约束下,能根据载体的动态特性自动调节估计系数,给出载体运动过程中的最优航向估计,具有较强的自适应能力、鲁棒性好,方便工程实际应用。
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公开(公告)号:CN113109849B
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202110522713.4
申请日:2021-05-13
Applicant: 西安索格亚航空科技有限公司 , 西北工业大学 , 北京华力创通科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于北斗/GPS双通道差分告警的辅助飞行导航方法和系统,系统包括北斗接收机、GPS接收机和飞行管理计算终端;北斗和GPS作为双通道卫星定位数据源,同时热备份工作,将导航数据发送到飞行管理计算终端;飞行管理计算终端具有显示屏、控制面板和大容量存储器,运行多任务实时操作系统,能够存储导航数据库,并运行飞行计划管理任务和双通道水平/垂直导航任务,利用双通道的卫星定位数据,进行双通道水平和垂直导航计算,并给出飞行导航参数的误差数据和告警数据。本发明基于双通道的卫星数据,和建立的飞行计划,计算北斗和GPS导航源实时误差以及飞行导航参数误差,为飞行员提供精确的飞行参考,提高飞行安全。
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公开(公告)号:CN103762160B
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201410042467.2
申请日:2014-01-28
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及硅片刻蚀领域,具体而言,涉及深硅刻蚀方法及其装置。该深硅刻蚀方法,包括如下步骤:将腐蚀溶液置于水浴中加热至预定温度,并通过磁力搅拌器对所述腐蚀溶液进行搅拌,使所述腐蚀溶液内部温度均匀;将带有掩膜的硅片竖直置于所述腐蚀溶液中腐蚀;将腐蚀好的硅片用去离子水清洗并经氮气吹干,得到成品硅片。本发明提供的深硅刻蚀方法及其装置,与现有技术相比,使刻蚀出的硅片的结构、图形、尺寸一致。
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公开(公告)号:CN103791897B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201410058849.4
申请日:2014-02-20
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及微机械陀螺领域,具体而言,涉及促使微机械陀螺快速起振的电路。该促使微机械陀螺快速起振的电路,包括:激励方波产生电路,用于产生激励方波信号,所述激励方波信号是将微机械陀螺驱动轴中心频率发送至所述激励方波产生电路后,激励方波产生电路通电后发出的;运算放大电路,用于将所述激励方波信号与驱动轴检测信号进行放大和反向,得到交流驱动信号,所述驱动轴检测信号是检测模块在检测陀螺的驱动轴后发出的;信号调制电路,用于将所述交流驱动信号、直流偏置电压信号、载波信号进行叠加,产生混合信号。
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公开(公告)号:CN113109849A
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN202110522713.4
申请日:2021-05-13
Applicant: 西安索格亚航空科技有限公司 , 西北工业大学 , 北京华力创通科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于北斗/GPS双通道差分告警的辅助飞行导航方法和系统,系统包括北斗接收机、GPS接收机和飞行管理计算终端;北斗和GPS作为双通道卫星定位数据源,同时热备份工作,将导航数据发送到飞行管理计算终端;飞行管理计算终端具有显示屏、控制面板和大容量存储器,运行多任务实时操作系统,能够存储导航数据库,并运行飞行计划管理任务和双通道水平/垂直导航任务,利用双通道的卫星定位数据,进行双通道水平和垂直导航计算,并给出飞行导航参数的误差数据和告警数据。本发明基于双通道的卫星数据,和建立的飞行计划,计算北斗和GPS导航源实时误差以及飞行导航参数误差,为飞行员提供精确的飞行参考,提高飞行安全。
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公开(公告)号:CN104634348A
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201510109100.2
申请日:2015-03-12
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: G01C21/20
CPC classification number: G01C21/20
Abstract: 本发明提供了组合导航中的姿态角计算方法,具体设计导航领域。本发明提供的组合导航中的姿态角计算方法,采用随动角校正的方式,其通过先以预先获取的捷联惯导系统误差角和角速度作为输入,随动角作为输出,根据随动角与捷联惯导系统回路的增益、阻尼比和自然角频率的关联关系建立闭环反馈回路,进而获取具有收敛特性的随动角作为优化随动角,并进一步根据优化随动角对原始的捷联矩阵进行校正,以确定第一优化捷联矩阵,最终依据第一优化捷联矩阵获取姿态角,从而完成了较为精确的姿态角的计算,解决了现有技术中的不足。
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公开(公告)号:CN103791897A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201410058849.4
申请日:2014-02-20
Applicant: 北京华力创通科技股份有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及微机械陀螺领域,具体而言,涉及促使微机械陀螺快速起振的电路。该促使微机械陀螺快速起振的电路,包括:激励方波产生电路,用于产生激励方波信号,所述激励方波信号是将微机械陀螺驱动轴中心频率发送至所述激励方波产生电路后,激励方波产生电路通电后发出的;运算放大电路,用于将所述激励方波信号与驱动轴检测信号进行放大和反向,得到交流驱动信号,所述驱动轴检测信号是检测模块在检测陀螺的驱动轴后发出的;信号调制电路,用于将所述交流驱动信号、直流偏置电压信号、载波信号进行叠加,产生混合信号。
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