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公开(公告)号：CN104923467A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510213503.1
申请日：2010-06-15
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02 , H01L21/768 , H01L23/48
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0292
摘要： 公开了电容型电气机械变换器。本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。
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公开(公告)号：CN102458693A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026731.3
申请日：2010-06-18
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , B06B1/0261
摘要： 一种机电变换器包括：多个元件，每个元件包含第一电极和第二电极，在所述第一电极和第二电极之间具有间隙；电压施加单元，被配置为向第一电极施加AC电压；以及灵敏度变化计算单元，被配置为使用由于AC电压的施加而从元件中的每一个的第二电极输出的信号来计算对于该元件的灵敏度变化。
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公开(公告)号：CN102204813A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110065850.6
申请日：2011-03-18
申请人： 佳能株式会社
CPC分类号： A61B5/0095 , B06B1/0292
摘要： 本发明涉及用于驱动电容性机电变换装置的装置和方法。一种装置被配置为驱动变换装置，所述变换装置包含具有被设置为经由间隙彼此相对的第一电极和第二电极的单元。所述装置包含定时检测单元和控制单元。定时检测单元检测从被配置为输出用于照射待测量对象的电磁波的电磁波源输出电磁波的定时。控制单元同步于检测到的定时驱动和控制变换装置，使得电容性机电变换装置仅对于接收在被电磁波照射的对象内部产生的声波的时段被置于接收状态中。
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公开(公告)号：CN102458692B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080026305.X
申请日：2010-06-15
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0292
摘要： 本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。
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公开(公告)号：CN101501446B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200780029453.5
申请日：2007-07-26
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： G01C19/5712
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明提供一种角速度传感器，该角速度传感器包括：参照振动子，该参照振动子被支撑为产生围绕作为中心的第一旋转轴线的往复旋转振动；检测振动子，该检测振动子由所述参照振动子支撑为产生围绕作为中心的第二旋转轴线的往复旋转振动，所述第二旋转轴线与所述第一旋转轴线不同；参照振动产生单元，用于使所述参照振动子产生往复旋转振动；以及检测单元，用于与所述检测振动子的往复旋转振动相关联，检测所述检测振动子相对于所述参照振动子的位移量。
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公开(公告)号：CN101604124A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910140939.7
申请日：2006-06-07
申请人： 佳能株式会社
摘要： 本发明提供一种用于形成图案的图案形成方法，包括：制备模子(104)，该模子(104)具有包括图案区域(1000)的第一表面、与第一表面相对的第二表面以及被设在远离第二表面并靠近第一表面的位置处的对准标记(2070)；使模子(104)的图案区域(1000)与设在衬底(5000)上的涂覆材料接触；在涂覆材料被设于衬底(5000)上的对准标记(2070)和衬底(5000)彼此相对的部分处的情况下，通过利用对准标记(2070)和在衬底(5000)上设置的标记(5300)，来获得关于模子(104)和衬底(5000)的位置信息；以及在所述信息的基础上，实施衬底(5000)与模子(104)的高精度对准；相应的模子以及图案形成设备。
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公开(公告)号：CN100503264C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610091718.1
申请日：2006-06-07
申请人： 佳能株式会社
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明致力于一种压印装置，包括：用于保持模子的第一保持部分(100)；用于保持待加工部件的第二保持部分(1040)；以及用于在一位置部分地支承待加工部件的支承部分(1050)，该位置与由所述第一保持部分所保持的模子相对。所述模子和所述支承部分确定了用于给待加工部件加压的加压轴线。所述支承部分和所述第二保持部分可以沿一方向彼此相对移动，该移动与所述第一保持部分无关，该方向平行于所述加压轴线，以便移动所述支承部分离开待加工部件。
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公开(公告)号：CN105170434B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510504147.9
申请日：2010-11-16
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0246 , B06B1/0292 , G01S3/8083
摘要： 提供了电容式机电变换器的控制设备及其控制方法。该设备具有多个单元，每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极；该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个：通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波，以及检测电极之间的电容的变化，所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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公开(公告)号：CN102458693B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201080026731.3
申请日：2010-06-18
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , B06B1/0261
摘要： 一种机电变换器包括：多个元件，每个元件包含第一电极和第二电极，在所述第一电极和第二电极之间具有间隙；电压施加单元，被配置为向第一电极施加AC电压；以及灵敏度变化计算单元，被配置为使用由于AC电压的施加而从元件中的每一个的第二电极输出的信号来计算对于该元件的灵敏度变化。
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公开(公告)号：CN105170434A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510504147.9
申请日：2010-11-16
申请人： 佳能株式会社
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0246 , B06B1/0292 , G01S3/8083
摘要： 提供了电容式机电变换器的控制设备及其控制方法。该设备具有多个单元，每个单元包括经由空隙而彼此面对的第一电极和第二电极；该设备包括驱动/检测部件和外部应力施加部件。所述驱动/检测部件执行如下操作中的至少一个：通过在电极之间产生AC静电引力来使得第二电极振动和发送弹性波，以及检测电极之间的电容的变化，所述变化是由在接收弹性波时振动的第二电极引起的。该外部应力施加部件改变施加到第二电极的外部应力。该驱动/检测部件通过与外部应力的改变对应地改变限定在发送/接收操作中使用的频率区域的参数来调整频率特性。
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